JM-20使用说明书 - 第359页

第 1 部 基本篇 第 3 章 维护 3- 43 3) 从真空泵 拆下气管、 成捆电线 (电 源线、 接地线 ), 卸下 固定 V AC_ PUMP_P LA TE 的③ 内六角螺栓 ( M4×8) 。 4 ) 将真空泵从主 机里取出。 ※ 取出时请注意 成捆的电线 。 ※取出 真空泵时,请 勿把持连接管 。 ※ 取出 真空泵时,有 时真空泵托架 会与橡胶垫粘 连在一起。 V AC _PUMP_P LA TE 内六角螺栓× 4 电源、接…

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1 基本篇 3 维护
3-42
3-8 定期更换零件更换方法
考虑以下
部件的损耗造成压力降低。
<损耗部件一>
更换部件组货号40099554
检查部位 使用数量 检查内容 检查方法
碗形密封垫圈
2
有无异常磨耗、硬化、龟裂等现象 目视
吸气阀 2 有无变形、硬化、缺损 目视
排气阀
2
有无变形、硬化、缺损 目视
O S-67 2 有无变形、磨耗、硬化、龟裂等無 目视
O
P-10
4
有无变形、磨耗、硬化、龟裂等 目视
密封圈 2 有无变形、硬化、龟裂等 目视
防止吸气阀碰触胶垫
2
有无裂口、硬化 目视
需要更换下述时,请另行购买。
真空润滑油 货号:40119551
O P-10 上涂抹润滑油
螺钉松动防止 NK-4 货号:40119552
在拧紧固定器时(更换碗形密封垫圈、防止吸气阀碰触胶垫)需要。
●更换真空泵准备
<L,XL 规格>
1)确认真空泵没有运转。(刚停止运转后会很热,请停止后放置 30 分钟左右,确认泵冷却之后再开始作业。
2)请拆下机器本体后侧下部的护罩。
检查更换
3-8-1 真空泵零件的更
使用工具
六角扳手、螺丝刀
更换周期 1
护罩
(螺丝×4
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3)从真空泵拆下气管、成捆电线(电源线、接地线),卸下固定 VAC_PUMP_PLATE 的③内六角螺栓M4×8)
4将真空泵从主机里取出。
取出时请注意成捆的电线
※取出真空泵时,请勿把持连接管
取出
真空泵时,有时真空泵托架会与橡胶垫粘连在一起。
VAC_PUMP_PLATE
内六角螺栓×4
电源、接地线
连接管
1 基本篇 3 维护
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密封的更换
1 下泵头护罩的 4 个(左右合计共 8 个)内六角螺栓(M5×20)
2 取下泵头护罩内测的黑色
密封 2 个,更换上新的密封圈。
※确认密封圈完全放入泵头护罩的密封垫圈槽内,请注意泵头护罩和泵头盘间不要相互咬合
3 请将固定泵头护罩用的内六角螺栓(M5×20) 5.0Nm 对角拧紧。(在更换其它消耗部件时,
不关闭护罩状态下参照各部位的更换工序项目
更换 O S-67
1
用与更换密封圈同一要领,卸下泵头护罩和泵头盘。
※泵头盘与碗形密封气缸之间的O环 S-67 有时会粘连在一起,
遇此情况请抓住泵头盘向上提,碗形密封气缸就会被一起提上来。
之后,再进行剥离作业。
泵头护罩
密封圈
内六角螺栓
泵头盘
将泵头盘翻过来的状态
碗形密封气缸
泵头盘
O S-67
泵头盘