JM-20使用说明书 - 第820页
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置 8- 61 8-4- 16 VCS 脏污检查 ( 选购项 ) 选择 VCS 脏污检查 后，即显示以 下画面。 设置脏污检查的 级别，检查 VCS 的脏污。 (1) 设置项目 No. 设置项目 设置内容 1 检查级别 设置检查级别。 (2) 设置方法 1) 在编辑框里设置脏污检查级别 。 (3) 检查方法 按执行检查按钮 ，即执行脏污检 查，显示检测 值及状态。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-60
8-4-15 标记脏污检测设置
设置检测CAL校准块脏污时从半径检查和从面积检查的级别。
选择设置检测标记脏污后，可显示如下画面。
(1) 设置项目
No.
设置项目
设置内容
1
半径
设置检查脏污级别（半径）。
2
面积
设置检查脏污级别（面积）。
(2) 设置方法
1) 用按钮设置是否检测 CAL 块标记脏污。
2）输入半径、以及面积的检测级别 0～100（％）。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-61
8-4-16 VCS 脏污检查(选购项)
选择VCS脏污检查后，即显示以下画面。
设置脏污检查的级别，检查VCS的脏污。
(1) 设置项目
No.
设置项目
设置内容
1
检查级别
设置检查级别。
(2) 设置方法
1) 在编辑框里设置脏污检查级别。
(3) 检查方法
按执行检查按钮，即执行脏污检查，显示检测值及状态。
第 2 部 功能详解篇 第 8 章 机器设置
8-62
8-4-17 极性检查(选购项)
选择极性检查后，即显示以下画面。
设置生产中的极性检查。
(1) 设置项目
No.
设置项目
设置内容
1
使用
对生产中指定的每块生产基板，进行极性检查。
2
检查间隔
设定生产中进行极性检查的生产基板块数的间隔。