JM-20使用说明书 - 第874页
第 2 部 功能详 解篇 第 9 章 手动 控制 9- 23 状态 说明 108 异步命令的传送信号 失败。 109 SW EEP 的 识别处理未结束。 11 0 安装对象在专属访问 状态下时，其他的 安装对象处于 准备执行状态。 111 安装对象在专属访问 状态下时，其他的 安装对象处于 准备执行状态。 11 2 虽没有处于专属状态 ，但系统仍执行解 除专属状态的 处理。 11 3 因其他原因测量异常 结束。 11 4 保存在 MSP…
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-22
9-4-3-8 状态显示、计测结果
结束控制后，画面显示控制 Head 的真空 ON、OFF 状态，Z 轴坐标，激光计测结果。
· 获得计测(SWEEP)和计测(ONCE)的结果时，返回的激光状态一览，如下表 1 所示。
・表１ 状态一览
状态
说明
1
表示命令已正常执行。
5
连接错误。
*
有可能是电缆断线、接触不良等故障。
7
没有设置
EDGE
数据
(
激光识别宽度
)
。
8
没有连接传感器或存在硬件错误。
64
无法检测出元件。
67
测量停止。
在结束测量旋转前，因超时而被提前停止。
70
检查出固件处于异常状态。
78
决定窗口的窗口参数低于
2000micron
。
79
窗口全部被遮住。
请检查传感器是否有异物。
80
窗口的左端被遮住。
请检查元件的位置。
81
窗口的右端被遮住。
请检查元件的位置。
82
窗口的两端被遮住。
请检查元件的位置。
86
参数错误。
对命令指定了无效的参数。
请确认输入参数的正确性。
87
数据错误。
被查出存在无效的数据。
93
取得形状失败。
从传感器的测量结果无法检测出被检查的元件的形状。对实际的元件形状来说，
被设置的元件形状参数可能是错误的。
98
无法查出最小宽度。
从传感器的测量结果无法检测出元件的最小宽度。
99
在下一次检查最小宽度处理之前，没有结束最初处理
(
从
REPORTW_CMD
开始
)。
100
初始化所需信息未按要求预先执行所需的初始化。
REPORTW_CMD
需要设置单位
(mm)
。
102
为测量而设置的元件形状无效。
103
在图像检查过程中，激光的亮度过低。
104
图像检查区域错误。
图像检查区域的边缘设定错误。
105
图像检查失败。
图像检查参数的比较失败。
106
出现在目前指定的“错误级别”中没有定义的错误。
需要改变
“
错误级别
”
。
107
OFAL 模块在没有初始化的状态下试图执行传感器功能。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-23
状态
说明
108
异步命令的传送信号失败。
109
SWEEP 的识别处理未结束。
110
安装对象在专属访问状态下时，其他的安装对象处于准备执行状态。
111
安装对象在专属访问状态下时，其他的安装对象处于准备执行状态。
112
虽没有处于专属状态，但系统仍执行解除专属状态的处理。
113
因其他原因测量异常结束。
114
保存在 MSP 内的 COR(吸嘴旋转中心的位置)异常。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-24
9-5 传送系统
9-5-1 传送控制
依次从下拉菜单中选择[传送系(C)]-[传送控制(V)]、或点击命令按钮中的[传送控制]后，可显示传送控
制画面。
画面上部用形象图显示传送马达、传送传感器的当前的状态(参见(1)传送传感器)。
可通过画面中央的按钮选择控制对象。
(1) 传送传感器
各传送传感器、传送马达 ON 的状态下，可描述如下。
把光标对准传感器时，即可显示工具提示。