JM-20使用说明书 - 第875页
第 2 部 功能详 解篇 第 9 章 手动 控制 9- 24 9- 5 传送系统 9-5- 1 传送控制 依次从下拉菜单中选择 [ 传送系 (C) ] -[ 传送控制 ( V) ] 、或点击命令按钮中的 [ 传送控制 ] 后，可显示传送控 制画面。 画面上部用形象图显 示传送马达、传送 传感器的当前 的状态 ( 参见 ( 1) 传送传感 器 ) 。 可通过画面中央的按 钮选择控制对象。 (1) 传送传感器 各传送传感器、传送 马达 ON…
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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状态
说明
108
异步命令的传送信号失败。
109
SWEEP 的识别处理未结束。
110
安装对象在专属访问状态下时，其他的安装对象处于准备执行状态。
111
安装对象在专属访问状态下时，其他的安装对象处于准备执行状态。
112
虽没有处于专属状态，但系统仍执行解除专属状态的处理。
113
因其他原因测量异常结束。
114
保存在 MSP 内的 COR(吸嘴旋转中心的位置)异常。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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9-5 传送系统
9-5-1 传送控制
依次从下拉菜单中选择[传送系(C)]-[传送控制(V)]、或点击命令按钮中的[传送控制]后，可显示传送控
制画面。
画面上部用形象图显示传送马达、传送传感器的当前的状态(参见(1)传送传感器)。
可通过画面中央的按钮选择控制对象。
(1) 传送传感器
各传送传感器、传送马达 ON 的状态下，可描述如下。
把光标对准传感器时，即可显示工具提示。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
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其他传感器的显示列表如下。
No.
显示项目
显示图
表示内容
1 支撑台挡块(CE 机)
支撑台挡块处于 OFF 状态。
支撑台挡块处于 ON 状态。
2 支撑台原点传感器
支撑台处于 OFF 状态。
支撑台处于 ON 状态。
3 传送挡块干涉传感器
传送挡块干涉传感器处于 OFF 状态。
传送挡块干涉传感器处于 ON 状态。
4
准备输入（
Ready In
）
准备输出（
Ready Out ）
准备输入（
Ready In
）处于
OFF
状态。
准备输出（
Ready Out
）处于
ON
状态。
5
能搬入基板
（Board Available In）
能搬出基板
（
Board Available Out
）
Board Available In·OUT 处于 OFF 状态。
Board Available In·OUT 处于 ON 状态。
6
停止挡销
停止挡销处于 OFF 状态。
停止挡销处于 ON 状态。