KE-3010A_20VA_20VRA_操作员手册.pdf - 第38页
操作手册 3- 23 Step6 执行生产。 在“基板生产” 画面上设置“生 产计划数量” ，按 下 [ 开始开关 ] 后，即开始 生产 。 警告 按下 [ 开始开关 ] 后，装置即开始 移动。 为避免伤害人身 ，请绝对不要把 手或头部等伸 入装置内部。 要使用 I FS - NX 的选项功能时，需 要在生产开始 前完成元件核对 工作。在未完 成 元件核对工作的 情况下按下开始 开关时，会显 示警告画面，不 能开始生产 。 2. 按下「…
操作手册
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2.
按下[执行检查]。
如果安装有选购项 VCS
时，通过一次检
查，即可进行标准（装备）、选购项的脏
污检查。
1.
按下[VCS 弄脏检查]。
3.
确认状态是否为正常。
*发现“弄脏”时，请按照「第 4 章 维护」
进行 VCS 的清扫。
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Step6
执行生产。
在“基板生产”画面上设置“生产计划数量”，按下[开始开关]后，即开始生产。
警告
按下
[开始开关]
后，装置即开始移动。
为避免伤害人身，请绝对不要把手或头部等伸入装置内部。
要使用
IFS-NX 的选项功能时，需要在生产开始前完成元件核对工作。在未完成
元件核对工作的情况下按下开始开关时，会显示警告画面，不能开始生产
。
2.
按下「确定」按钮。
1.
执行「支援准备」的各项作业后,会
显示勾号。
确认所有项目均已显示勾号。
3.
显示「生产」的画面。
输入「生产计划数量」。
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4.
按下[开始开关]后，开始生产。
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7.
显示中断画面。
按[开始开关]，则继续进行生产。
按[停止开关]，则停止生产。
6.
进入暂停状态，显示「暂停」画面。
*为了避免故障，
要进行安全盖的开闭时
请按[安全盖解除锁定]按钮。
5.
按一次[停止开关]，会进入暂停状
态。再按一次，则显示中断画面。
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