SM411 Service Manual(CHI) - 第107页
Calibration 3-53 3.2.10.5. Fly Camera Scale Calibration 测量 Fly-Camera 的标度 (Scale) 。为了执行 Fly -Camera Scale 校正作业之 前首先要确 认校正 T ool 是否在 ANC 的校正 T ool 处。 下面是 Fly-Camera Scale Calibration 的校正步骤。 1. 点击 <Nozzle Prepare> 按钮…
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Head XY Offset Calibration 基准值如下。
Head 1 X : -0.04mm ~ 0.04mm, Head 1 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 2 X : 29.96mm ~ 30.04mm, Head 2 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 3 X : 59.96mm ~ 60.04mm, Head 3 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 4 X : 89.96mm ~ 90.04mm, Head 4 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 5 X : 119.96mm ~ 120.04mm, Head 5 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
Head 6 X : 149.96mm ~ 150.04mm, Head 6 Y : -0.03mm ~ 0.03mm
" 备注
Calibration
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3.2.10.5. Fly Camera Scale Calibration
测量Fly-Camera的标度(Scale)。为了执行Fly-Camera Scale 校正作业之前首先要确
认校正 Tool是否在ANC的校正 Tool处。
下面是 Fly-Camera Scale Calibration的校正步骤。
1. 点击<Nozzle Prepare>按钮，在ANC1号孔中插入CN400喷嘴。
2. 选择<Automatic Next> 校验框后，点击<11. Fly Cam. Scale> 按钮，则对选择的
Gantry自动执行校正。
选择<No Real Motion[Manual]> 校验框后，执行校正会在各Head手动插入喷嘴，
并点击<Next>进入下一个阶段。
不选<Automatic> 或<Manual>中的任何校验框的状态下执行校正时 ， 虽然对当
前被选的Head自动更换喷嘴，但要点击<Next>按钮才能执行下一个阶段。
点击<11. 飞行凸轮偏移>按钮则显示“首先，我们必须把所有喷嘴手动离开朝向
。将Z轴调制低处 ， 点击[下一步]”消息。为了手动除去所有贴装在磁头的吸嘴 ，
拉下磁头的Z轴请点击 <下个> 按钮。
3. 那么, Head Assembly移动到设备指定的位置后，拉下所有Z轴。此时，请手动除
去已贴装的所有吸嘴。
4. 显示“下一步 ， 将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后 ， 手
动粘贴工具到首部。”消息。在磁头1的吸嘴支架上手动安装Calibration Tool后
请点击 <下个>按钮。
5. 显示 “Move To Center Position of Calibration Tool. To Move, Click [Next].” 消息
。为了把Head Assembly移动到ANC上的Calibrration Tool位置，请点击 <Next>
按钮。
6. 显示“排列高度上升，镜像关闭。移动，点击[下一步]”消息。请点击 <下个>按
钮。
7. 那么，磁头1上升到Fly Camera的Align高度，关闭 Mirror。 然后在消息窗显示
“准备标准。
8. 对于标准，点击[下一步].” 消息。此时在 <目标摄像>组合框中选择“Fly1 Ca
m”点击 <亮度>按钮，在”亮度控制”
对话框中SMVison显示的Calibration Tool上
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的 Fiducoal Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个> 按钮。
9. 校正是：用Fly-Camera识别校正 Tool底面的Fiducial Mark 2点后，校正 Tool放
到ANC顶面的校正 Tool位置，之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2
点。