SM411 Service Manual(CHI) - 第199页
Head Module 4-75 8. 插入 Ball spline Nut 后利用固定螺丝 (M2–4 个 ) ，把 Ball splin e Nut 组装在 Spline Housing Ass’y 。 9. 从下往上插入 Ball spline ， Ball spline 上组装接头后把弹簧连 接到 slidu body 。 10. 打开设备前面的 Main Switch ，启动 PC 。 11. 利用示教框，慢慢 旋转替换的头部…
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6. 向下推动Ball Spline进行分离后(A), 利用扳手分离Ball Spline和喷嘴座。然后
向上拉动Ball Spline Nut分离后替换成新的Ball Spline和Ball Spline Nut。
7. 把喷嘴座组装在Ball spline，插入Ball spline Nut。
组装喷嘴座时，请利用力矩扳手进行组装。连接力矩为18 kgf.cm。
Ball Spline
Ball Spline Nut
Spline Housing
Ass’y
A
B
C
Ball Spline Nu
t
Fixing Bolt
1
Head Module
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8. 插入Ball spline Nut后利用固定螺丝(M2–4个)，把Ball spline Nut组装在Spline
Housing Ass’y。
9. 从下往上插入Ball spline，Ball spline上组装接头后把弹簧连接到slidu body。
10. 打开设备前面的Main Switch，启动PC。
11. 利用示教框，慢慢旋转替换的头部，通过fly camera确认喷嘴座的偏心旋转程
度. 微调假组装的Ball splineNut直到喷嘴座不偏心旋转为止. (可以如下图手动
旋转，肉眼确认偏心程度，但不建议这么做)
12. 完成微细调整，请固定好固定螺丝。
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13. R轴传感器dog组装时，请参照下图的设置。
14. 完成组装后，确认Ball spline Nut周边有无污渍，利用真空清扫仪清扫干净。
如果 Ball spline Nut中流入污渍，影像设备性能。
15. 需要执行以下 Calibration作业。
Detect Z Offset 와 R Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.2 Head Z / R
Offset Calibration“ )
Head Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.4 Head Offset Calibration” )
Fly-Camera Sacle Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.5 Fly Camera Scale
Calibration” )
Fly-Camera Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.6 Fly Camera Offset
Calibration” )
Fly to Fix Camera Offset Calibration 详细的事项请参考 “3.2.10.7 Fly to Fix
Camera & Fly Runout Offset Calibration (3-61
页
)”
16. 完成校正后，为确认是否正常贴装部件，请执行测试。
Spindle Housing Ass’y 替换次序
2. 同样地执行到Ball spline 替换次序 No.1~No.4。
3. 考虑作业简便性请参考 ‘4.4.3 Flying Vision (4-13
页
)’ 分离照明部Module。
4. 把Spindle下降到可以用扳手对喷嘴Holder的六角部分进行作业的位置。
R轴home sensor dog
(Top View)
R轴辅助传感器dog
(Bottom View)