SM411 Service Manual(CHI) - 第201页
Head Module 4-77 警告 主轴的下降防止 Spline Nut 受力过大 ，吸 嘴固 定器 的六角部分 (B) 能进入扳手的最小单位进行下 降。 5. 用 5mm 扳手扣住 Spindle 槽（ A ） . 用 8mm 扳手扣住喷嘴 Holder 的六角部分（ B ） 后，用相同等力量把 5mm 扳手按逆时针方向、把 8mm 扳手按顺时针方向旋转分 离喷嘴 Holder 。 Nozzle Holer
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13. R轴传感器dog组装时，请参照下图的设置。
14. 完成组装后，确认Ball spline Nut周边有无污渍，利用真空清扫仪清扫干净。
如果 Ball spline Nut中流入污渍，影像设备性能。
15. 需要执行以下 Calibration作业。
Detect Z Offset 와 R Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.2 Head Z / R
Offset Calibration“ )
Head Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.4 Head Offset Calibration” )
Fly-Camera Sacle Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.5 Fly Camera Scale
Calibration” )
Fly-Camera Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.6 Fly Camera Offset
Calibration” )
Fly to Fix Camera Offset Calibration 详细的事项请参考 “3.2.10.7 Fly to Fix
Camera & Fly Runout Offset Calibration (3-61
页
)”
16. 完成校正后，为确认是否正常贴装部件，请执行测试。
Spindle Housing Ass’y 替换次序
2. 同样地执行到Ball spline 替换次序 No.1~No.4。
3. 考虑作业简便性请参考 ‘4.4.3 Flying Vision (4-13
页
)’ 分离照明部Module。
4. 把Spindle下降到可以用扳手对喷嘴Holder的六角部分进行作业的位置。
R轴home sensor dog
(Top View)
R轴辅助传感器dog
(Bottom View)
Head Module
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警告
主轴的下降防止 Spline Nut受力过大，吸嘴固定器的六角部分
(B)能进入扳手的最小单位进行下降。
5. 用5mm扳手扣住Spindle槽（A）. 用8mm扳手扣住喷嘴Holder的六角部分（B）
后，用相同等力量把5mm扳手按逆时针方向、把8mm扳手按顺时针方向旋转分
离喷嘴Holder。
Nozzle Holer
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6. 从Head Body分离固定Bearing Plate的固定螺丝(M3-4个)，分离 R轴同步齿型
带后，向下推动分离 Spindle Housing Ass’y。