SM411 Service Manual(CHI) - 第55页

Calibration 3-1 第 3 章 . Calibration 本过程介绍安装设备、 W arming-Up 执行后必须执行的校正过程。执行校正之前需要确认或先行的作业为如下。  I/O T est  确认及补正 Mirror Offset  Nozzle Check 及 System Constant 的 V acuu m Check Option  Nozzle Check 及 System Constant …

Calibration

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第 3 章. Calibration

本过程介绍安装设备、Warming-Up执行后必须执行的校正过程。

执行校正之前需要确认或先行的作业为如下。

 I/O Test

 确认及补正Mirror Offset

 Nozzle Check及System Constant的Vacuum Check Option

 Nozzle Check及System Constant的校正Tool Option:[80]号 “1” (default)

 ANC Type确认

 确认空压是否异常

Samsung Component Placer SM411 Service Manual

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3.1. Mirror Offset 确认及补正

为清晰显示通过反射镜显示在fly camera的影像，应设置Swing Mirror Offset。

以下是Swing Mirror Offset设置过程。

1. 操作示教框把Head Assembly最大限度地往两边移动。

2. 在’Sys. Setup’菜单选择‘Calib.’ 下位菜单后，点击<1.Axis Home Calibration> 按

钮后, 请在‘System Axis Home & Limit Info.’对话框选择‘H1F-M1’。