JM-20_操作手册1.pdf - 第29页
操作手册 I 3-13 Step5-4 执行坏板标记示教（ OCC ） 。 坏板标记的标示方法和材质有变更时，因标记明亮度的「阈值」会有变化，需要进行示教。 检查单元以 “OCC” 为例记述。 2. 显示「坏板标记示教」画面 请选择坏板标记检查单元「OCC」 。 5. 同样，进行无标记位置的示教。 1. 请按下「坏板标记示教」 。 3. 选择有标记位置的输入 焦点（X,Y 任 何一个均可） ，按「功能栏」的「示教」 按钮。 4. 显示 …
操作手册 I
3-12
Step5-3 执行 BOC 标记示教。
因基板批次不同，BOC 标记或基准领域标记有变化时，需要重新取得标记信息。
2. 显示「标记数据示教」画面。
*在这里只确认「BOC 标记识别」执行是
否正确。
请按「BOC 标记识别」按钮。
3. 请确认安全后，按下 [继续] 按钮。
进行 BOC 标记识别。
也可按下传送控制按钮，
传送基板。
1.按下 [标记示教]。
操作手册 I
3-13
Step5-4 执行坏板标记示教（OCC）。
坏板标记的标示方法和材质有变更时，因标记明亮度的「阈值」会有变化，需要进行示教。
检查单元以“OCC”为例记述。
2. 显示「坏板标记示教」画面
请选择坏板标记检查单元「OCC」。
5.同样，进行无标记位置的示教。
1. 请按下「坏板标记示教」。
3.选择有标记位置的输入焦点（X,Y 任
何一个均可），按「功能栏」的「示教」
按钮。
4. 显示「OCC 坏板标记坐标示教」画面。
边看叠加画面，边设置检出框。看图像状
况，直接触摸画面，设置检出框。
设置检出框后，按[确定]。
操作手册 I
3-14
注意
为避免伤害人身，操作中请绝对不要把手伸进装置内，脸部和头部也不可靠近装
置。
8. 显示 OCC 坏板标记识别示教画面。
边看叠加画面，边设置坏板标记检出框。
看图像状况，直接触摸画面，设置检出框。
9. 然后按[确定]，开始取得阈值的动
作。
7.
按功能栏的
「
示教
」
按钮
。
10. 取得阈值，成功后，显示如下画面。
请按[确定]。
6. 选择「设置 OCC 坏板标记阈值」的输
入焦点。