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操作手册 I 4-5 更换间隔：每 2 年更换 1 次。或压力下降约 0.1MPa （ 1kgf ／ C ㎡）时。 更换方法 1 ）请关闭指状阀的旋纽。 2 ）边降下滑动部分，边将主体向左右任意一侧旋转 45 度，然后抽出。 3 ）将固定过滤器零 件 B 的树脂零件向左旋转 ，拆卸过滤器零件 B 。将过滤器零件 A 本身向左旋转后拆 下，拆卸过滤器零件 A 。 4 ）按拆卸时的逆向步骤重新安装好。 注意 在开始作业前，请关闭指状阀的旋纽…
操作手册 I
4-4
1) 打开旋钮①。
2) 向下拉「调节器旋钮②」，旋转旋钮，把使用的空气压力调整为 0.5MPa。
调整方法 调整初压
打开状态 关闭状态
①
②
操作手册 I
4-5
更换间隔：每2年更换1次。或压力下降约0.1MPa（1kgf／C㎡）时。
更换方法
1）请关闭指状阀的旋纽。
2）边降下滑动部分，边将主体向左右任意一侧旋转 45 度，然后抽出。
3）将固定过滤器零件B的树脂零件向左旋转，拆卸过滤器零件B。将过滤器零件A本身向左旋转后拆
下，拆卸过滤器零件A。
4）按拆卸时的逆向步骤重新安装好。
注意
在开始作业前，请关闭指状阀的旋纽。
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检查 更换 更换过滤器零件 更换标准 ： 2年
打开状态
关闭状态
过滤器零件 A
PF901010000
过滤器零件 B
PF901006000
树脂零件
滑动部
操作手册 I
4-6
1） 在压力表上确认压力为 –87kPa 以上。
确认供给真空压力时，点击画面左下角（蓝框）区域就可以显示当前真空压力。
2) 负压表降低到-87kPa 时，需要更换消耗零件。
请按照「4-8-1 真空泵零件的更换」进行消耗零件的检查、更换。
检查项目
4-2-2 真空泵压力
实施频度 ：每天
检查内容 确认真空压力
单击可进行显示/不显示切换。