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操作手册 I 4-19 1) 500 ～ 504 、 509 号吸嘴，可整个浸入酒精液里，在超声波清洗器中清洗约 5 分钟。 2) 使用超声波清洗器清洗 505 ～ 508C 号吸嘴时，为防止用酒精清洗造成吸嘴尖头氨基甲酸乙酯部分剥 离，因此，请用夹具等把吸嘴倒置放入，防止尖头浸入酒精。 3) 卡盘吸嘴请用夹具使吸嘴倒过来进行 超音波清洗，不要让定位销、树 脂或橡胶浸入酒精里。 4) 如若氨基甲酸乙酯部分的脏污或吸嘴 扩散器脏污、橡胶的…
操作手册 I
4-18
1） 如果传感器窗上附着有大量的垃圾或灰尘，请使用吹风机等吹掉。
请避免通过呼气吹掉脏污。
2） 少量的垃圾和灰尘请使用柔软的布（眼镜布等）沾上少量酒精，仔细擦去。
请勿用力擦拭。如果损伤滤镜，会造成误差产生。
清扫位置
4-3-6 高度测量装置 (HMS)
实施频度 ：每周
清扫内容 清扫激光窗口 使用工具：棉纱 推荐溶剂 ： IPA
传感器窗
操作手册 I
4-19
1) 500～504、509 号吸嘴，可整个浸入酒精液里，在超声波清洗器中清洗约 5 分钟。
2) 使用超声波清洗器清洗 505～508C 号吸嘴时，为防止用酒精清洗造成吸嘴尖头氨基甲酸乙酯部分剥
离，因此，请用夹具等把吸嘴倒置放入，防止尖头浸入酒精。
3) 卡盘吸嘴请用夹具使吸嘴倒过来进行超音波清洗，不要让定位销、树脂或橡胶浸入酒精里。
4)
如若氨基甲酸乙酯部分的脏污或吸嘴扩散器脏污、橡胶的脏污擦不掉，请用软布浸湿酒精擦干净。
5) 为防止吸嘴内部生锈，洗净后，请按下页“清扫吸嘴后上油”的说明注油。
清扫部位
4-3-7 吸嘴
实施频度 ：每周
清扫内容 清洗吸嘴 使用工具 ：超声波清洗器 推荐溶剂 ：IPA
氨基甲酸乙酯部分
酒精
夹具块等
烧杯等
烧杯、夹具块等请客
户予以准备。
烧杯等
夹具块等
烧杯、夹具块等请客户予以
准备。
酒精
定位销
橡胶
操作手册 I
4-20
※负荷控制吸嘴（选项）的清扫
1） 请将吸嘴配件从 6**系吸嘴主体上拆下来。
2） 请按照上述说明用超声波清洗器清扫 6**系吸嘴主体。
3） 请使用干的棉纱或吹气枪等清扫吸嘴配件。
4） 请使用推入夹具安装吸嘴配件。（参见「使用说明书」13 章 13-7 简易包装控制）
注意
因有导致配件变形的可能，请绝对不要使用溶剂（酒精等）清扫吸嘴
配件。
拆下吸嘴配件。
吸嘴本体
用超声波清洗器等清洗。
吸嘴配件①
使用抹布、吹气枪等清扫。
切不可分解吸嘴。
注
意
注
意
作业时请带上防有机臭味用的口罩。
IPA 成分中含有对人体有害的物质。
注
意
切不可使用酒精以外的溶剂（丙酮等）。否则，使用后可能使吸嘴扩散器
变色。此外，溶剂易燃，使用时，务必十分注意。