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EJM1EJ-MB-06 M-02 NPM-TT2 3 カバーからフィ ルターを取り外 して清掃する ●エアガンを使用する。 ●有機溶剤は使用しない。 フィルター 4 フィルターをカ バーに取り付け る フィルターエレメントを取り出し、清掃する ①フィルターユニットを分解 する。 ②エアガンを使って、フィル ターエレメントのほこりな どを取り除く。 ( 有機溶剤を使用しない ) ③フィルターユニットを元通 りに組み立てる。 5 ヘッド …
EJM1EJ-MB-06M-02NPM-TT2
真空ポンプフィルターの清掃方法を説明します。
使用工具：プラスドライバー(No.2) 所要時間：30分
●作業中は、頭を打たないよう注意してください。
6
真空ポンプフィルターの清掃
カバーを
取り付ける
6-7-1
1
7
メンテナンス
編
6-7
8
ON
鍵を外して
後側のトレイ
フィーダー、また
は交換台車を取り
付ける
●トレイフィーダーのとき
(→P.14-8)
●交換台車のとき
(→P.3-2)
後側のトレイ
フィーダー、また
は交換台車を取り
外す
●トレイフィーダーのとき
(→P.14-8)
●交換台車のとき
(→P.3-2)
2
カバーを取り外す
●ねじ(8本)
カバー
●ねじ(8本)
カバー
後側
EJM1EJ-MB-06M-02NPM-TT2
3
カバーからフィ
ルターを取り外
して清掃する
●エアガンを使用する。
●有機溶剤は使用しない。
フィルター
4
フィルターをカ
バーに取り付け
る
フィルターエレメントを取り出し、清掃する
①フィルターユニットを分解
する。
②エアガンを使って、フィル
ターエレメントのほこりな
どを取り除く。
(有機溶剤を使用しない)
③フィルターユニットを元通
りに組み立てる。
5
ヘッド
フィルターエレメント
Oリング
フィルターケース
リング
6-7-2
5
6
0
時
間
メ
ン
テ
ナ
ン
ス
真空ポンプ
EJM1EJ-MB-06M-02NPM-TT2
非常停止スイッチの点検方法を説明します。
使用工具：不要 所要時間：2分
●あらかじめ原点復帰を行ってください。
安全スイッチの点検 1
6-8-1
メンテナンス
編
6-8
非常停止スイッチの点検
1
前側の非常停止スイッチを押す。
3
後側の非常停止スイッチを押して、
前側と同様に画面が遷移することを
確認する。
2
左の画面に遷移することを確認する。
2
左の画面に遷移することを確認する。
+