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EJM1EJ-MB-06 M-02 NPM-TT2 5 基板検出センサー部を清掃する ●基板検出センサー ( 反射タイプ ) は検出部に綿 棒の先端を当て、 下図のように綿棒を動かし付着物を取り除く。 検出部 6 7 SERVO ON 上面カバーを 取り付ける ●六角レンチでカバー部の ボルトで固定する。 6-9 -8 5 6 0 時 間 メ ン テ ナ ン ス
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基板検出センサーの清掃 4
延長コンベヤー(オプション) 2
4
基板検出センサーの位置と、センサータイプを確認する
●基板検出センサー
反射タイプ:2個
ボルト(3か所)
A
矢視図A
ボルト(3か所)
延長コンベヤー
■左側に設置されたときの、センサーの位置
(反射タイプ)
基板検出センサー
6-9-7
メンテナンス
編
6-9
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5
基板検出センサー部を清掃する
●基板検出センサー (反射タイプ) は検出部に綿棒の先端を当て、
下図のように綿棒を動かし付着物を取り除く。
検出部
6
7
SERVO
ON
上面カバーを
取り付ける
●六角レンチでカバー部の
ボルトで固定する。
6-9-8
5
6
0
時
間
メ
ン
テ
ナ
ン
ス
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真空エア経路の点検
(装着ヘッド(オプション))
6-10-1
真空エア経路の点検方法を説明します。
使用工具：不要 所要時間：2分(1ステージ)
メンテナンス
編
6-10
1
または
2
A