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EJM1EJ-MB-06 M-02 NPM- TT2 真空エア経路の点検 (装着ヘッド(オプション)) 6-10 -1 真空エア経路の点検方法を説明します。 使用工具：不要 所要時間： 2 分 (1 ステージ ) メンテナンス 編 6-10 1 または 2 A
EJM1EJ-MB-06M-02NPM-TT2
5
基板検出センサー部を清掃する
●基板検出センサー (反射タイプ) は検出部に綿棒の先端を当て、
下図のように綿棒を動かし付着物を取り除く。
検出部
6
7
SERVO
ON
上面カバーを
取り付ける
●六角レンチでカバー部の
ボルトで固定する。
6-9-8
5
6
0
時
間
メ
ン
テ
ナ
ン
ス
EJM1EJ-MB-06M-02NPM-TT2
真空エア経路の点検
(装着ヘッド(オプション))
6-10-1
真空エア経路の点検方法を説明します。
使用工具：不要 所要時間：2分(1ステージ)
メンテナンス
編
6-10
1
または
2
A
EJM1EJ-MB-06M-02NPM-TT2
6-10-2
(表示が青色から灰色に変
わり、真空吸引が終わる)
手順 に戻り、
各posについて、同じ
操作をする
8
5
3
ノズルがヘッドに
セットされていな
いことを確認する
●セットされているときは、
取り外す。
7
4
(表示が灰色から青色に変わり、
真空吸引が始まる)
5
A
B
6
「pos1」の表示が規定値であることを確認する
●表示が規定値に入っていないときは、
・真空ポンプの供給圧の確認(→P.4-1-1)
・ノズルホルダーの清掃(→P.5-2, 7-1)
を行う。
●それでも表示が規定値に入らないときは、
当社にご連絡ください。
●規定値: 枠の数値が“-85”以下
B
5
6
0
時
間
メ
ン
テ
ナ
ン
ス
ACTIVATION
ACTIVATION
ACTIVATION