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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-13 M-02 22 装着ヘッド 3 ヘッド / 面補正 Z 3 13-4 -5 22 正常に終了したことを確認して 23 メッセージを確認して ( 面補正 Z データが保存される ) ■保存しないとき ■キャンセルするとき ( の画面のまま ) 22 ( ヘッドが作業位置に移動する ) 23 メンテナンス 編 13-4

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NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
正常に終了したことを確認して、
面補正Zをするもう一方のテーブ
ルを選び、 を繰り返
21
19
2 20
13-4-4
17
18
安全カバーを閉じる
+
メッセージを確認して
■キャンセルするとき
( の画面のまま)
13
19
21
サーボスイッチON
20
メッセージを確認して
20
(面補正Zのキャリブレーションが開始さ
れる)
+
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
22
装着ヘッド
ヘッド / 面補正Z
13-4-5
22
正常に終了したことを確認して
23
メッセージを確認して
(面補正Zデータが保存される)
■保存しないとき
■キャンセルするとき
( の画面のまま)
22
(ヘッドが作業位置に移動する)
23
メンテナンス
13-4
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
25
26
27
28
29
安全カバーを開く
ノズルを取り外す
安全カバーを閉じる
24
+
13-4-6
ノズルを取り出す準備をする
30
30
メッセージを確認して
■キャンセルするとき
( の画面のまま)
22
サーボスイッチON
サーボスイッチOFF