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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-13 M-02 13-6 -4 14 メッセージを確認して ( 高さ計測データと基板停止位置データ が保存される ) ●保存しないとき ●キャンセルするとき ( の画面のまま ) 13 14 ( ヘッドが作業位置に移動する ) 安全カバーを開く 18 ノズルを取り外す 19 20 サーボスイッチ ON 安全カバーを閉じる サーボスイッチ OFF ノズルを取り出す準備をする 15 16 17
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
装着位置/コンベヤー ２
メンテナンス
編
13-6
13-6-3
(キャリブレーションが開始される)
+
メッセージを確認して
10
9
サーボスイッチON
11
正常に終了したことを確認して
(ヘッドが移動し、高さ計測を行う)
+
10
11
正常に終了したことを確認して
12
13
正常に終了したことを確認して
13
+
(ヘッドが移動し、停止位置を計測する)
12
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
13-6-4
14
メッセージを確認して
(高さ計測データと基板停止位置データ
が保存される)
●保存しないとき
●キャンセルするとき
( の画面のまま)
13
14
(ヘッドが作業位置に移動する)
安全カバーを開く
18
ノズルを取り外す
19
20
サーボスイッチON
安全カバーを閉じる
サーボスイッチOFF
ノズルを取り出す準備をする
15
16
17
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
装着位置/コンベヤー 3
メンテナンス
編
13-6
13-6-5
21
21
メッセージを確認して
●キャンセルするとき
( の画面のまま)
13
(ヘッドが退避位置に移動する)