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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-13 M-02 装着位置 / コンベヤー 3 メンテナンス 編 13-6 13-6 -5 21 21 メッセージを確認して ●キャンセルするとき ( の画面のまま ) 13 ( ヘッドが退避位置に移動する )
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
13-6-4
14
メッセージを確認して
(高さ計測データと基板停止位置データ
が保存される)
●保存しないとき
●キャンセルするとき
( の画面のまま)
13
14
(ヘッドが作業位置に移動する)
安全カバーを開く
18
ノズルを取り外す
19
20
サーボスイッチON
安全カバーを閉じる
サーボスイッチOFF
ノズルを取り出す準備をする
15
16
17
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
装着位置/コンベヤー 3
メンテナンス
編
13-6
13-6-5
21
21
メッセージを確認して
●キャンセルするとき
( の画面のまま)
13
(ヘッドが退避位置に移動する)
NPM-TT2
EJM1EJ-MB-13M-02
13-6-6