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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-14M-02 14-7 -1 基板搬送設定 ( NPM-TT2 以外の設備と連結するとき ) NPM-TT2 以外の設備とライン連結するときは、前工程 設備の基板要求信号の受け 渡しタイミングによって は、基板の 2 枚搬送などの不具合が発生する 可能性があります。このた め、必ず NPM-TT2 の基 板搬送の設定 を変更してください。 ●「左 → 右流れ」で基板搬送設定の方法を説明しま す。「右…
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-14M-02
周辺
装置
の接続
LNB接続時の設定
14-6-5
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先頭設備から何台目にある
かを入力する
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■LNBに登録しないとき
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メッセージを確認して
LNBに接続しているときは、設備側で設定してください。
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メッセージを確認して
メンテナンス
編
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NPM-TT2 EJM1EJ-MB-14M-02
14-7-1
基板搬送設定
(NPM-TT2以外の設備と連結するとき)
NPM-TT2以外の設備とライン連結するときは、前工程設備の基板要求信号の受け渡しタイミングによって
は、基板の2枚搬送などの不具合が発生する可能性があります。このため、必ずNPM-TT2の基板搬送の設定
を変更してください。
●「左→右流れ」で基板搬送設定の方法を説明します。「右→左流れ」のときは、右側に延長コンベヤー
が設置されたNPM-TT2で設定してください。
■オプション設定
「前工程他社連結 」を「ON」にするとき
1
1
■オプション設定
「前工程他社連結2 」を「ON」にするとき
2
2
メンテナンス
編
14-7
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-14M-02
14-7-2
各設定での基板搬送状況
基板流れ
基板搬出
NPM-TT2以外の
前工程設備
基板流れ
基板搬出
NPM-TT2以外の
前工程設備
■通常設定(デフォルト): 「前工程他社連結」を「OFF」、「前工程他社連結2」を「OFF」
基板流れ
♞基板搬出
NPM-TT2以外の
前工程設備
NPM-TT2
■オプション設定 : 「前工程他社連結」を「ON」
■オプション設定 : 「前工程他社連結2」を「ON」
基板検出センサー
装着位置「ON」
基板要求信号「OFF」
基板搬出後、 NPM-TT2の基板要求信号が
「ON」になる。
前工程設備から、基板が搬出される。
NPM-TT2の基板検出センサー(装着位置) が
「ON」になる。
NPM-TT2の基板要求信号が「OFF」になる。
基板要求信号「ON」
*通常は基板要求信号の「OFF」→ 「ON」で基板
を搬出するため、デフォルト設定のままで、基
板の2枚搬送などの不具合は発生しません。
ただし、前工程の設備が当社設備の仕様に対応
していないときは、基板要求信号「ON」で基板
搬出をし続けることがあるため、 NPM-TT2の基
板搬送の設定を変更する必要があります。
基板要求信号「ON」
基板要求信号「OFF」
基板搬出後、 NPM-TT2の基板要求信号が「ON」
になる。
前工程設備から、基板が搬出される。
延長コンベヤーの基板検出センサー (前工程側) が
「ON」になる。
NPM-TT2の基板要求信号が「OFF」になる。
基板要求信号「OFF」
基板搬出後、 NPM-TT2の基板要求信号が「ON」
になる。
前工程設備から、基板が搬出される。
延長コンベヤーの基板検出センサー (前工程側) が
「ON」→「OFF」になる。
NPM-TT2の基板要求信号が「OFF」になる。
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基板要求信号「ON」
基板検出センサー
前工程側「ON」→「OFF」
(延長コンベヤー)
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基板検出センサー
前工程側「ON」
(延長コンベヤー)
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●「前工程他社連結」と「前工程他社連結2」は同時に「ON」にはできません。
NPM-TT2
NPM-TT2