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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 M-01 概要 ユニット別定期点検箇所 １ ＜タイプ共通＞ 各種圧力計 部品排出ボックス 2-1-6 -1 前側 後側 メインエア圧 前側・後側 メンテナンス 編 2-1-6 真空破壊圧 真空ポンプ供給圧 オプションエア圧 清掃ブロー圧 部品排出ボックス
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
タイプ共通
2-1-5
No.
名称
参考寿命
[h]
備考 参照
1
クランプ爪
18000 – 10-1
2
クランプ爪押さえ用
スプリング
3
ノズルクッション用
スプリング
4
エアフィルターエレメント
6000 – 12-4
■ 8ノズルヘッド
No.
名称
参考寿命
[h]
備考 参照
1
クランプ爪
18000 – 10-1
2
クランプ爪押さえ用
スプリング
3
エアフィルターエレメント
6000 – 12-5
■ 3ノズルヘッド
概要
消耗パーツ一覧
オプション
メンテナンス
編
2-1-5
No.
名称
参考寿命
[h]
備考 参照
1
基板搬送ベルト
(基板コンベヤー)
––
12-1
2
基板搬送ベルト
(延長コンベヤー)
12-2
3
CPUボードバッテリー
60000
10年
12-34
NCIOボードバッテリー
60000
10年
5
ジグステーションバッテリー
(8760)
1年
No.
名称
参考寿命
[h]
備考 参照
1
FAパソコン：カレンダーバッテリー
(87600)
10 年
12-3
2
FAパソコン：UPSバッテリー
(52560)
6 年
■ LNB
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
概要
ユニット別定期点検箇所 １
＜タイプ共通＞
各種圧力計
部品排出ボックス
2-1-6-1
前側
後側
メインエア圧
前側・後側
メンテナンス
編
2-1-6
真空破壊圧
真空ポンプ供給圧
オプションエア圧
清掃ブロー圧
部品排出ボックス
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
2-1-6-2
タッチパネル
XYユニット
真空ポンプ
真空ポンプ
後側
前側・後側
前側・後側
Y軸ケーブルベア
X軸リニアガイド
X軸ケーブルベア
タッチパネル
Y軸リニアガイド