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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 M-01 2-1-6 -2 タッチパネル XYユニット 真空ポンプ 真空ポンプ 後側 前側・後側 前側・後側 Y 軸ケーブルベア X 軸リニアガイド X 軸ケーブルベア タッチパネル Y 軸リニアガイド
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
概要
ユニット別定期点検箇所 １
＜タイプ共通＞
各種圧力計
部品排出ボックス
2-1-6-1
前側
後側
メインエア圧
前側・後側
メンテナンス
編
2-1-6
真空破壊圧
真空ポンプ供給圧
オプションエア圧
清掃ブロー圧
部品排出ボックス
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
2-1-6-2
タッチパネル
XYユニット
真空ポンプ
真空ポンプ
後側
前側・後側
前側・後側
Y軸ケーブルベア
X軸リニアガイド
X軸ケーブルベア
タッチパネル
Y軸リニアガイド
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
概要
基板コンベヤー
ユニット別定期点検箇所 ２
＜タイプ共通＞
2-1-6-3
基板検出センサー
幅寄せボールねじ
基板搬送ベルト
※基板検出センサー各レーンに、
透過タイプ:4個・反射タイプ:2個あります。
前側・後側
延長コンベヤー
前側
メンテナンス
編
2-1-6
基板搬送ベルト
基板下受けブロック
基板検出
センサー
基板搬送ベルト
リニアガイド
ボールスプライン