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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 M-01 概要 基板コンベヤー ユニット別定期点検箇所 ２ ＜タイプ共通＞ 2-1-6 -3 基板検出センサー 幅寄せボールねじ 基板搬送ベルト ※ 基板検出センサー各レーンに、 透過タイプ :4 個・反射タイプ :2 個あります。 前側・後側 延長コンベヤー 前側 メンテナンス 編 2-1-6 基板搬送ベルト 基板下受けブロック 基板検出 センサー 基板搬送ベルト リニアガイド ボールスプラ…
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
2-1-6-2
タッチパネル
XYユニット
真空ポンプ
真空ポンプ
後側
前側・後側
前側・後側
Y軸ケーブルベア
X軸リニアガイド
X軸ケーブルベア
タッチパネル
Y軸リニアガイド
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
概要
基板コンベヤー
ユニット別定期点検箇所 ２
＜タイプ共通＞
2-1-6-3
基板検出センサー
幅寄せボールねじ
基板搬送ベルト
※基板検出センサー各レーンに、
透過タイプ:4個・反射タイプ:2個あります。
前側・後側
延長コンベヤー
前側
メンテナンス
編
2-1-6
基板搬送ベルト
基板下受けブロック
基板検出
センサー
基板搬送ベルト
リニアガイド
ボールスプライン
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
2-1-6-4
13連供給ユニット
マルチ認識カメラ
前側・後側
カバーガラス
空テープボックス
カッティングユニット
フィーダーテーブル
コネクター