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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 M-01 概要 ユニット別定期点検箇所 ４ ＜装着ヘッド＞ ( オプション ) 2-1-6 -7 ■装着ヘッド ■ノズルチェンジャー 前側・後側 メンテナンス 編 2-1-6
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
2-1-6-6
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
概要
ユニット別定期点検箇所 ４
＜装着ヘッド＞
(オプション)
2-1-6-7
■装着ヘッド
■ノズルチェンジャー
前側・後側
メンテナンス
編
2-1-6
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
2-1-6-8
8ノズルヘッド
■8ノズルヘッド ■ノズル
■ノズルチェンジャー
ノズル先端部
ノズル反射板
ノズルフランジ上面
(2Dコード部)
ノズルテーパー面
ノズル先端部
ノズル内部
ノズル反射板接触面
真空エア経路
θ軸ベルト
スプラインシャフト摺動面
■ノズルホルダー
内外周部
ノズルクッション用
スプリング
クランプ爪
クランプ爪押さえ用
スプリング
ノズルホルダー摺動面