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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 M-01 2-1-6 -8 8 ノズルヘッド ■ 8 ノズルヘッド ■ノズル ■ノズルチェンジャー ノズル先端部 ノズル反射板 ノズルフランジ上面 (2D コード部 ) ノズルテーパー面 ノズル先端部 ノズル内部 ノズル反射板接触面 真空エア経路 θ 軸ベルト スプラインシャフト摺動面 ■ノズルホルダー 内外周部 ノズルクッション用 スプリング クランプ爪 クランプ爪押さえ用 スプリング ノズ…
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
概要
ユニット別定期点検箇所 ４
＜装着ヘッド＞
(オプション)
2-1-6-7
■装着ヘッド
■ノズルチェンジャー
前側・後側
メンテナンス
編
2-1-6
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
2-1-6-8
8ノズルヘッド
■8ノズルヘッド ■ノズル
■ノズルチェンジャー
ノズル先端部
ノズル反射板
ノズルフランジ上面
(2Dコード部)
ノズルテーパー面
ノズル先端部
ノズル内部
ノズル反射板接触面
真空エア経路
θ軸ベルト
スプラインシャフト摺動面
■ノズルホルダー
内外周部
ノズルクッション用
スプリング
クランプ爪
クランプ爪押さえ用
スプリング
ノズルホルダー摺動面
NPM-TT2 EJM1EJ-MB-02M-01
2-1-6-9
3ノズルヘッド
■3ノズルヘッド ■ノズル
■ノズルホルダー
■ノズルチェンジャー
概要
ユニット別定期点検箇所 ５
＜装着ヘッド＞
(オプション)
クランプ爪
クランプ爪押さえ用
スプリング
テーパー面
ノズル反射板接触面
真空エア経路
θ軸ベルト
メンテナンス
編
2-1-6
ノズル反射板
ノズルフランジ面
(2Dコードあり)
ノズル先端部