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NPM- TT2 EJM1EJ-MB-02 M-01 2-1-6 -9 3 ノズルヘッド ■ 3 ノズルヘッド ■ノズル ■ノズルホルダー ■ノズルチェンジャー 概要 ユニット別定期点検箇所 ５ ＜装着ヘッド＞ ( オプション ) クランプ爪 クランプ爪押さえ用 スプリング テーパー面 ノズル反射板接触面 真空エア経路 θ 軸ベルト メンテナンス 編 2-1-6 ノズル反射板 ノズルフランジ面 (2D コードあり ) ノズル先端部