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- 8 - NOTE( 注記 ) #01....FOR EN ＥＮ 用 #02....FOR EX SIZE ＥＸ サイズ用 #03....FOR ST ＳＴ 用 #04....FOR OLD TYPE 旧タイプ用 #05....FOR NEW TYPE 新タイプ用 #06....FOR EN, ST ＥＮ，ＳＴ 用 #07....FOR EN, EX SIZE ＥＮ，ＥＸ サイズ用 REF.NO NOTE PART NO D E S …

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4. SHUTTLE UNIT
シャトルユニット
FRONT VIEW
11
10
90
93
97
97
99
103
100
71 72
6
7
5
7
6
8
9
8
9
5
3
3
12
4
3
1
2
78
13
16
15
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22
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29
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30
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35
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37
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36
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26
19
18
20
34
38
109
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NOTE( 注記 ) #01....FOR EN ＥＮ 用
#02....FOR EX SIZE ＥＸ サイズ用
#03....FOR ST ＳＴ 用
#04....FOR OLD TYPE 旧タイプ用
#05....FOR NEW TYPE 新タイプ用
#06....FOR EN, ST ＥＮ，ＳＴ 用
#07....FOR EN, EX SIZE ＥＮ，ＥＸ サイズ用
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 E9336-717-0A0 S MOTOR ASM.
Ｓモ−タ組
1
2
#01
E9025-723-0A0 S MOTOR ASM. (CE)
Ｓモーター組（ＣＥ）
1
3 HD-0005700-0A PHOTO SENSOR
フォトセンサ
3
4
#03
E2107-723-000 S RAIL
Ｓレール
1
5 PX-5000600-00 VACUUM PAD
真空パッド
2
6 E2150-723-000 MOVING PAD
可動パッド
2
7 E2151-723-000 GUM RING
ゴムリング
2
8 E2119-723-000 PACKING A
パッキンＡ
2
9 E2120-723-000 PACKING B
パッキンＢ
2
10 E2155-723-0A0 PAD/BGA SENSOR UNIT R
ＰＡＤ／ＢＧＡセンサーユニット（Ｒ）
1
11 E2156-723-0A0 PAD/BGA SENSOR UNIT L
ＰＡＤ／ＢＧＡセンサーユニット（Ｌ）
1
12
#03
E2126-723-000 S BELT
Ｓベルト
1
13 E9157-723-0A0 SHUTTLE EJECTOR ASM.
シャトルエジェクタ組
1
14 PV-9200010-00 FILTER ELEMENT
フィルタエレメント
1
15 E1104-717-000 XYZ MOTOR PULLEY
ＸＹＺモータープーリー
1
16 E2211-524-000 SCREW
ダブルポイントセットＳＣ
2
17 SM-6041002-TN BOLT
六角穴ボルト
4
18 E2142-723-000 S STOPPER
Ｓストッパ
2
19 SM-6031002-TN BOLT M3 L=10
六角穴ボルト Ｍ３ Ｌ＝１０
2
20 NM-6030001-SC NUT M3
六角ナット Ｍ３Ｘ０．５ １種
2
21
#03
E2106-723-000 S BASE
Ｓベース
1
22 SM-6040602-TN BOLT
六角穴ボルト
2
23 NM-6040001-SC NUT M4
六角ナット Ｍ４
2
24 SM-6032002-TN SCREW M3X0.5 L=20
六角穴ボルト Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝２０
1
25 NM-6030001-SC NUT M3
六角ナット Ｍ３Ｘ０．５ １種
1
26 E2109-723-000 S TENSIONER BR
ＳテンショナＢＲ
1
27 E1104-717-000 XYZ MOTOR PULLEY
ＸＹＺモータープーリー
1
28 E2211-524-000 SCREW
ダブルポイントセットＳＣ
2
29 SB-1080013-00 ROLLING SHAFT HOLDER
ころがり軸受
2
30 RE-0600000-K0 E-RING 6
Ｅ形止め輪 ６
2
31
#02
E2133-723-000 S CARRIER BR (E)
ＳキャリアＢＲ（Ｅ）
1
32 SL-
4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
4
33 SM-6030602-TN HEX SCREW M3 X 6
六角穴ボルト Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
6
34 PJ-0320525-03 HOSE NIPPLE
ホウスニップル
2
35
#04
E2116-723-0A0 PAD BLOCK ASM. A
パッドブロック組Ａ
2
36 PJ-0320540-02 BARBED FITTING JOINT
バ−ブ継手
2
37
#04
E2121-723-000 PAD BASE COVER
パッドベースカバー
2
38
#04
SM-1850501-SC SCREW
皿ねじ Ｍ２．５ Ｌ＝５
4
39 E2124-723-000 SENSOR DOG GUIDE
センサドグガイド
2
40 SL-4020591-SC SCREW M2X5
なべ小ねじセムス Ｍ２ Ｌ＝５
4
41 E2122-723-000 SENSOR DOG
センサドグ
2
42 E2123-723-000 SENSOR DOG SP
センサドグＳＰ
2
43 NM-6960001-UZ NUT M1.6
ナット Ｍ１．６
2
44 PJ-0460525-03 HOSE ELBOW
ホ−ス エルボ
2
45 E2144-723-000 S DOG BR
ＳドグＢＲ
1
46 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
2
47 E2143-723-000 S DOG PL
ＳドグＰＬ
1
48 SL-6030692-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
2
49 E2127-723-000 S BELT BR
ＳベルトＢＲ
1
50 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
2
51 E1119-717-000 XYS BELT CONNECTOR
ＸＹＳベルトコネクタ
1
52 SM-6030402-TN BOLT M3X4
六角穴付きボルト
4
53
#03
E2102-723-000 S BASE BRB
ＳベースＢＲＢ
1
54
#02
E2130-723-000 S BASE BRB (E)
ＳベースＢＲＢ（Ｅ）
1
55 E2104-723-000 S BASE GUIDE B
ＳベースガイドＢ
1
56 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
2
57
#03
E2103-723-000 S BASE GUIDE A
ＳベースガイドＡ
1
58
#02
E2131-723-000 S BASE GUIDE A (E)
ＳベースガイドＡ（Ｅ）
1
59
#03
SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
3
60
#0
2
SL-
6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
4
61 PJ-2300042-00 UNION
隔壁用ユニオン
2
62
#03
E2101-723-000 S BASE BRA
ＳベースＢＲＡ
1
63
#02
E2129-723-000 S BASE BRA (E)
ＳベースＢＲＡ（Ｅ）
1
64
#03
E2103-723-000 S BASE GUIDE A
ＳベースガイドＡ
1
65
#02
E2131-723-000 S BASE GUIDE A (E)
ＳベースガイドＡ（Ｅ）
1
66
#03
SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
3
67
#02
SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
4
68 E2066-525-000 ARM PIN
アームピン
1
69 PJ-3010405-02 HALF UNION 4XM5
ハ−フユニオン ４ＸＭ５
2
70 PJ-3040405-04 ELBOW UNION
エルボユニオン
2
71
#02
E2134-723-000 S BELT (E)
Ｓベルト（Ｅ）
1
72
#02
E5312-723-000 LM GUIDE RSR12VM
ＬＭガイドＲＳＲ１２ＶＭ
1
73
#02
E2132-723-000 S=SHUTTLE ARM ASY. (E)
シャトルアーム組 （Ｅ）
1
74 E2108-723-0A0 S CARRIER UNIT
Ｓキャリアユニット
1
75 E3011-971-000 SBGA LINK PIN
ボールスライド １０３５
(4)
76 E2114-723-000 HOLDER ARM A
ホルダーアームＡ
(2)
77 E2115-723-000 HOLDER ARM B
ホルダーアームＢ
(2)
78 PA-0402001-A0 AIR CYLINDER
超小形エアシリンダ
(2)
79 E2146-723-000 S CARRIER PLATE
Ｓキャリアプレート
(1)
80 E2468-716-000 STUD L11
スタッドＬ１１
(5)
81 SM-4860401-UZ SCREW M2.6 L=4
なべ小ねじ Ｍ２．６ Ｌ＝４
(8)
82 WP-0280501-SC WASHER M2.6
平座金みがき丸 Ｍ２．６
(8)
83 E2024-175-000 FLANGE BUSHING 80F-0303
フランジブッシュ ８０Ｆ−０３０３
(2)
84 E2136-723-AA0 BGA LINK ASM. A
ＢＧＡリンク組Ａ
(2)
85 SM-1030601-SC SCREW M3 L=6
皿ねじ Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
(1)
86 SM-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
(2)
87
E1406
-717-000 SBGA CYLINDER BASE
ＳＢＧＡシリンダベース
(2)
88 E1407-717-000 SBGA CYLINDER PLATE
ＳＢＧＡシリンダープレート
(2)
89 SM-6030402-TN BOLT M3X4
六角穴付きボルト
(2)
90
#03
E2100-723-0A0 TWIN SHUTTLE UNIT N
ツインシャトルユニットＮ
1
91
#02
E2100-723-0B0 TWIN SHUTTLE UNIT E
ツインシャトルユニットＥ
1
92
#06
E2100-723-AA0 TWIN SHUTTLE UNIT N (CE)
ツインシャトルユニットＮ（ＣＥ）
1
93
#07
E2100-723-AB0 TWIN SHUTTLE UNIT E (CE)
ツインシャトルユニットＥ（ＣＥ）
1
94
#03
E2110-723-000 CABLEVEYOR
シャトルＸ軸ケーブルベアー
(1)
95
#02
E2135-723-000 CABLEVEYOR (E)
ケーブルベア(E)
(1)
96 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ３ Ｌ＝８
(4)
97 PX-5000600-00 VACUUM PAD
真空パッド
(2)
98 E2145-723-000 S SAUCER
Ｓソーサ
(1)
99 E1414-717-000 SBGA HOLDER
ＳＢＧＡホルダー
(4)
100 PC-0124010-00 SPEED CONTROLLER
スピードコントローラ
(2)
101 SM-6032502-TN SCREW M3 L=25
六角穴ボルト Ｍ３ Ｌ＝２５
(2)
102 SM-4030401-SC SCREW M3X0.5 L=4
なべ小ねじ Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝４
(5)
103 SM-6020302-UZ SCREW M2 L=3
六角穴ボルト Ｍ２ Ｌ＝３
(4)
104
#03
E2125-723-000 S CARRIER BR
ＳキャリアＢＲ
1
105
#06
E2426-723-000 S BASE BRB (CE)
ＳベースＢＲＢ ＣＥ
1
106
#07
E2427-723-000 S BASE BRB (E) (CE)
ＳベースＢＲＢ（Ｅ）（ＣＥ）
1
107
#05
E2147-723-0A0 PAD BLOCK ASM. A
パッドブロック組Ａ
2
108
#05
E2149-723-000 PAD BASE COVER
パッドベースカバー
2
109
#05
SM-1850501-SC SCREW
皿ねじ Ｍ２．５ Ｌ＝５
6
- 9 -
5. ELECTRIC APPARATUS COMPONENTS (1)
電装関係（１）
FRONT VIEW
27
30
24
32
50
49
8
37
8
37
7
38
8
36
29
39
26
40
47
48
43
43
45
44
20 18
35 21
31
41
28
34
57
612
11
10
9
12
13
19
16
15
33
52 53
54
55 56
58
59
60
61 62
63
64 65
66
67
68
69
70
17
34
5
25
14
51
A
23
A
42
22
46