CM602 操作维修手册 - 第473页
CM602-L 维修手册 3.6 负荷一览表 Page 3 -69 (2/4) 模块名称 No. 名称 配置位置 备注 M-Z1AF NP1 Z 轴驱动 AF M-Z2AF NP2 Z 轴驱动 AF M-Z3AF NP3 Z 轴驱动 AF M-Z4AF NP4 Z 轴驱动 AF M-Z5AF NP5 Z 轴驱动 AF M-Z6AF NP6 Z 轴驱动 AF M-Z7AF NP7 Z 轴驱动 AF M-Z8AF NP8 Z 轴驱动 AF …
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-68
3.6
负荷一览表
3.6.1
电机一览表
(M)
标准部
(1/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
M-S2
Y
轴驱动
AF
M-S4
Y
轴驱动
AR
M-S6
Y
轴驱动
BF
M-S8
Y
轴驱动
BR
FANP1
真空泵冷却扇
A
FANP2
真空泵冷却扇
B
M9
真空泵
A
主体部
M10
真空泵
B
M-S1
X
轴驱动
AF
M-S3
X
轴驱动
AR
M-S5
X
轴驱动
BF
XY
装置
M-S7
X
轴驱动
BR
PM1
宽度调节驱动
(
主
)
A
M1A
基板搬送
(
固定侧
1)
A
M2A
基板搬送
(
固定侧
2)
A
M3A
基板搬送
(
固定侧
3)
A
M4A
基板搬送
(
固定侧
4)
A
M7A
基板搬送
(
可动侧
1)
A
M8A
基板搬送
(
可动侧
2)
A
M9A
基板搬送
(
可动侧
3)
A
基板传送带
L
M10A
基板搬送
(
可动侧
4)
A
PM2
宽度调整驱动
(
主
)
B
M1B
基板搬送
(
固定侧
1)
B
M2B
基板搬送
(
固定侧
2)
B
M3B
基板搬送
(
固定侧
3)
B
M4B
基板搬送
(
固定侧
4)
B
M7B
基板搬送
(
可动侧
1)
B
M8B
基板搬送
(
可动侧
2)
B
M9B
基板搬送
(
可动侧
3)
B
基板传送带
R
M10B
基板搬送
(
可动侧
4)
B
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-69
(2/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
M-Z1AF
NP1 Z
轴驱动
AF
M-Z2AF
NP2 Z
轴驱动
AF
M-Z3AF
NP3 Z
轴驱动
AF
M-Z4AF
NP4 Z
轴驱动
AF
M-Z5AF
NP5 Z
轴驱动
AF
M-Z6AF
NP6 Z
轴驱动
AF
M-Z7AF
NP7 Z
轴驱动
AF
M-Z8AF
NP8 Z
轴驱动
AF
M-Z9AF
NP9 Z
轴驱动
AF
M-Z10AF
NP10 Z
轴驱动
AF
M-Z11AF
NP11 Z
轴驱动
AF
M-Z12AF
NP12 Z
轴驱动
AF
M-Z1AR
NP1 Z
轴驱动
AR
M-Z2AR
NP2 Z
轴驱动
AR
M-Z3AR
NP3 Z
轴驱动
AR
M-Z4AR
NP4 Z
轴驱动
AR
M-Z5AR
NP5 Z
轴驱动
AR
M-Z6AR
NP6 Z
轴驱动
AR
M-Z7AR
NP7 Z
轴驱动
AR
M-Z8AR
NP8 Z
轴驱动
AR
M-Z9AR
NP9 Z
轴驱动
AR
M-Z10AR
NP10 Z
轴驱动
AR
M-Z11AR
NP11 Z
轴驱动
AR
M-Z12AR
NP12 Z
轴驱动
AR
M-Z1BF
NP1 Z
轴驱动
BF
M-Z2BF
NP2 Z
轴驱动
BF
M-Z3BF
NP3 Z
轴驱动
BF
M-Z4BF
NP4 Z
轴驱动
BF
M-Z5BF
NP5 Z
轴驱动
BF
M-Z6BF
NP6 Z
轴驱动
BF
M-Z7BF
NP7 Z
轴驱动
BF
M-Z8BF
NP8 Z
轴驱动
BF
M-Z9BF
NP9 Z
轴驱动
BF
M-Z10BF
NP10 Z
轴驱动
BF
M-Z11BF
NP11 Z
轴驱动
BF
M-Z12BF
NP12 Z
轴驱动
BF
M-Z1BR
NP1 Z
轴驱动
BR
M-Z2BR
NP2 Z
轴驱动
BR
M-Z3BR
NP3 Z
轴驱动
BR
M-Z4BR
NP4 Z
轴驱动
BR
M-Z5BR
NP5 Z
轴驱动
BR
M-Z6BR
NP6 Z
轴驱动
BR
M-Z7BR
NP7 Z
轴驱动
BR
M-Z8BR
NP8 Z
轴驱动
BR
M-Z9BR
NP9 Z
轴驱动
BR
M-Z10BR
NP10 Z
轴驱动
BR
M-Z11BR
NP11 Z
轴驱动
BR
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
M-Z12BR
NP12 Z
轴驱动
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01
CM602-L
维修手册
3.6
负荷一览表
Page 3-70
(3/4)
模块名称
No.
名称
配置位置
备注
M-T1AF
θ
轴驱动
AF
M-T1AR
θ
轴驱动
AR
M-T1BF
θ
轴驱动
BF
M-T1BR
θ
轴驱动
BR
FAN1AF
Z
轴电机冷却扇
AF
FAN2AF
CPU
冷却扇
AF
FAN1AR
Z
轴电机冷却扇
AR
FAN2AR
CPU
冷却扇
AR
FAN1BF
Z
轴电机冷却扇
BF
FAN2BF
CPU
冷却扇
BF
FAN1BR
Z
轴电机冷却扇
BR
移载吸头
(
高速吸头
12
吸嘴
)
FAN2BR
CPU
冷却扇
BR
M-Z1AF
NP1 Z
轴驱动
AF
M-Z2AF
NP2 Z
轴驱动
AF
M-Z3AF
NP3 Z
轴驱动
AF
M-Z4AF
NP4 Z
轴驱动
AF
M-Z5AF
NP5 Z
轴驱动
AF
M-Z6AF
NP6 Z
轴驱动
AF
M-Z7AF
NP7 Z
轴驱动
AF
M-Z8AF
NP8 Z
轴驱动
AF
M-Z1AR
NP1 Z
轴驱动
AR
M-Z2AR
NP2 Z
轴驱动
AR
M-Z3AR
NP3 Z
轴驱动
AR
M-Z4AR
NP4 Z
轴驱动
AR
M-Z5AR
NP5 Z
轴驱动
AR
M-Z6AR
NP6 Z
轴驱动
AR
M-Z7AR
NP7 Z
轴驱动
AR
M-Z8AR
NP8 Z
轴驱动
AR
M-Z1BF
NP1 Z
轴驱动
BF
M-Z2BF
NP2 Z
轴驱动
BF
M-Z3BF
NP3 Z
轴驱动
BF
M-Z4BF
NP4 Z
轴驱动
BF
M-Z5BF
NP5 Z
轴驱动
BF
M-Z6BF
NP6 Z
轴驱动
BF
M-Z7BF
NP7 Z
轴驱动
BF
M-Z8BF
NP8 Z
轴驱动
BF
M-Z1BR
NP1 Z
轴驱动
BR
M-Z2BR
NP2 Z
轴驱动
BR
M-Z3BR
NP3 Z
轴驱动
BR
M-Z4BR
NP4 Z
轴驱动
BR
M-Z5BR
NP5 Z
轴驱动
BR
M-Z6BR
NP6 Z
轴驱动
BR
M-Z7BR
NP7 Z
轴驱动
BR
移载吸头
(
通用吸头
8
吸嘴
)
M-Z8BR
NP8 Z
轴驱动
BR
EJM8A-C-MMC03-A02-01