KE-2070_2080机器控制参数 - 第111页
R e v 1 . 00c 机械控制参数 4-68 4-4-12 MNVC FCS 用控制参数 图 4-4-12 MNVC FCS 用控制参数 (1) 设定画面的显示方法 菜单∶ [ 输入 ]→[ 画像 ]→[MNVC]→[FCS 用控制参数 ] 起动∶ [ 画像 ] 按钮 →[MNVC] 标 标 →[FCS 用控制参数 ] 按钮 (2) 设定项目 输入范围 № 项目 最小值 最大值 单 位 备考 1 数据有效 / 无效 0: 无效 1…
Rev1.00c
机械控制参数
4-67
4-4-11 MNVC 元件控制参数
图 4-4-11 MNVC 元件控制参数
(1)设定画面的显示方法
菜单∶[输入]→[画像]→[MNVC]→[元件控制参数]
起动∶[画像]按钮→[MNVC]标标→[元件控制参数]按钮
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1
数据有效/无效
0:无效
1:有效
2
纵长姿势控制最小长边尺
寸法(长边为该值以上时控
制纵长)
0.1
μm
3
适用最大长边尺寸
0.1
μm
4
元件控制参数
最大对角尺寸
0.1
μm
注) 在数据有效/无效选择了无效后，以后的项目不能编辑。
Rev1.00c
机械控制参数
4-68
4-4-12 MNVC FCS 用控制参数
图 4-4-12 MNVC FCS 用控制参数
(1)设定画面的显示方法
菜单∶[输入]→[画像]→[MNVC]→[FCS 用控制参数]
起动∶[画像]按钮→[MNVC]标标→[FCS 用控制参数]按钮
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 数据有效/无效
0:无效
1:有效
2 标记形状 0:圆形
3 极性
0:正转
1:反转
4
FCS 用元件侧标记
控制参数
标记尺寸
0.1
μm
注) 在数据有效/无效选择了无效后，以后的项目不能编辑。
Rev1.00c
机械控制参数
4-69
4-4-13 设置 OCC 坏板标记
图 4-4-13 设置 OCC 坏板标记
(1)设定画面的显示方法
菜单∶[输入]→[画像]→[设置]→[设置 OCC 坏板标记]
起动∶[画像]按钮→[设置]标标→[设置 OCC 坏板标记]按钮
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 最大值
2
对比度图案
最小值