KE-2070_2080机器控制参数 - 第100页

R e v 1 . 00c 机械控制参数 4-57 输入范围 № 项目 最小值 最大值 单 位 备考 5 軸加速距離 0.1 μm 初期值 标 准测定方式 :30000(3mm), 高精度测定方式 :5000(0.5mm) 6 轴速度静止距离 ( 加速距离通过后速度稳定 的距离 ) 0.1 μm 初期值 标 准测定方式 :20000(2mm), 高精度测定方式 :45000(4.5mm) 7 标 准测定方式 、 高精度测定方式 Ｘ 分割…

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Rev1.00c
机械控制参数
4-56
4-4-6 共面性装置的设定
图4-4-6 共面性装置的设定
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[共面]→[装置设定]
起动∶ [图像]按键→[共面]标标→[装置设定]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 共面装置设置方向 ° 0,90,180,270
2 共面装置扫描方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :0(Y+),
90° :3(X-),
180°:1(Y-),
270°:2(X+)
3
共面装置分割方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :2(X+),
90° :1(Y-),
180°:3(X-),
270°:0(Y+)
4 测量方式
标准测定方式,
高精度测定方式
Rev1.00c
机械控制参数
4-57
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
5 軸加速距離
0.1
μm
初期值
标准测定方式
:30000(3mm),
高精度测定方式
:5000(0.5mm)
6
轴速度静止距离
(加速距离通过后速度稳定
的距离)
0.1
μm
初期值
标准测定方式
:20000(2mm),
高精度测定方式
:45000(4.5mm)
7
标准测定方式、
高精度测定方式
Ｘ分割数的最大元件外形尺
寸
0.1
μm
初期值
标准测定方式
0° :260000,
500000,0,0
90° :1000000,
0,0,0
180°:260000,
500000,0,0
270°:1000000,
0,0,0
高精度测定方式
0° :260000,
500000,0,0
90° :500000,0,0
,0
180°:260000,
500000,0,0
270
°:500000,0,0,0
Rev1.00c
机械控制参数
4-58
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
8
Ｙ分割数的最大元件外形尺
寸
0.1
μm
初期值
标准测定方式
0° :1000000,
0,0,0
90° :260000,
500000,0,0
180°:1000000,
0,0,0
270°:260000,
500000,0,0
高精度测定方式
0
° :500000,0,0,
0
90° :260000,
500000,0,0
180°:500000,0,0
,0
270°:260000,
500000,0,0
9 XY 卸载(ms) ms
10 Ｚ 卸载时间(ms) ms
11 θ卸载时间(ms) ms
12 方式变换时间(ms) ms 初期值:3000
13 分割间距
0.1
μm
初期值:250000
(25mm)
14
测定标记距离
(扫描距离＝元件外形＋标
记×２)
0.1
μm
初期值:30000
(3mm)
注) 变更了設置方向之后，按照角度的机械控制参数初期化的确认信息被显示出来，选择了[OK]按键之
后，进行初期化。