KE-2070_2080机器控制参数 - 第102页
R e v 1 . 00c 机械控制参数 4-59 4-4-7 共面性状态控制的设定 图 4-4-7 共面性状态控制的设定 (1) 设定画面的显示方法 菜单∶ [ 输入 ]→[ 图像 ]→[ 共面 ]→[ 设置状态控制 ] 起动∶ [ 图像 ] 按键 →[ 共面 ] 标 标 →[ 设置状态控制 ] 按键
Rev1.00c
机械控制参数
4-58
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
8
Ｙ分割数的最大元件外形尺
寸
0.1
μm
初期值
标准测定方式
0° :1000000,
0,0,0
90° :260000,
500000,0,0
180°:1000000,
0,0,0
270°:260000,
500000,0,0
高精度测定方式
0
° :500000,0,0,
0
90° :260000,
500000,0,0
180°:500000,0,0
,0
270°:260000,
500000,0,0
9 XY 卸载(ms) ms
10 Ｚ 卸载时间(ms) ms
11 θ卸载时间(ms) ms
12 方式变换时间(ms) ms 初期值:3000
13 分割间距
0.1
μm
初期值:250000
(25mm)
14
测定标记距离
(扫描距离＝元件外形＋标
记×２)
0.1
μm
初期值:30000
(3mm)
注) 变更了設置方向之后，按照角度的机械控制参数初期化的确认信息被显示出来，选择了[OK]按键之
后，进行初期化。
Rev1.00c
机械控制参数
4-59
4-4-7 共面性状态控制的设定
图 4-4-7 共面性状态控制的设定
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[共面]→[设置状态控制]
起动∶ [图像]按键→[共面]标标→[设置状态控制]按键
Rev1.00c
机械控制参数
4-60
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 共面装置的设置方向 ° 0,90,180,270
2 共面装置的扫描方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :0(Y+),
90° :3(X-),
180°:1(Y-),
270°:2(X+)
3
共面装置的分割方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :2(X+),
90° :1(Y-),
180°:3(X-),
270°:0(Y+)
4
元件外形尺寸的 X 尺寸适
用最大尺寸
0.1
μm
5
控制变换尺寸
(４阶段)
元件外形尺寸的 Y 尺寸适
用最大尺寸
0.1
μm
6 状态控制(测定角度)
识别样子(无控
制),
0/180ﾟ,
90/270ﾟ,
不能控制(不能
检查)
7 分割扫描
(分割)无,
(分割)有
8
Ｙ方向４阶段×
Ｘ方向４阶段
最大适用元件高度
注) 变更了设置方向之后，按照角度的机械控制参数初期化的确认信息被显示出来，选择了[OK]按键之
后，进行初期化。