KE-2070_2080机器控制参数 - 第98页
R e v 1 . 00c 机械控制参数 4-55 4-4-5 分割识别间距( BGA ) 图 4-4-5 分割识别间距 (BGA) (1) 设定画面的显示方法 菜单∶ [ 输入 ]→[ 图像 ]→[ 分割识别 ]→[ 间距 (BGA)] 起动∶ [ 图像 ] 按键 →[ 分割识别 ] 标 标 →[ 间距 (BGA)] 按键 (2) 设定项目 输入范围 № 项目 最小值 最大值 单 位 备考 1 模式 0 63 参照 (3) 模式 2 …

Rev1.00c
机械控制参数
4-54
4-4-4 分割识别间距
图 4-4-4 分割识别间距
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[分割识别]→[间距]
起动∶ [图像]按键→[分割识别]标标→[间距]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 模式 0 63 参照(3)模式
2 X间距
0.1
μm
3 Y间距
0.1
μm
4
分割识别间距
Z间距
0.1
μm
(3)图案
№ 类别 内 容
1 0 54.0mm 视野(标准)
2 1 37.5mm 视野(选购品 1)
3 2 27.0mm 视野(选购品 2)
4 3 18.0mm 视野(选购品 3)
5 4 27.0mm 视野(选购品/高分辨率)
6 5∼63 预备

Rev1.00c
机械控制参数
4-55
4-4-5 分割识别间距(BGA)
图 4-4-5 分割识别间距(BGA)
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[分割识别]→[间距(BGA)]
起动∶ [图像]按键→[分割识别]标标→[间距(BGA)]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 模式 0 63 参照(3)模式
2 X间距
0.1
μm
3 Y间距
0.1
μm
4
分割识别间距
(BGA)
Z间距
0.1
μm
(3)图案
№ 类别 内 容
1 0 54.0mm 视野(标准)
2 1 37.5mm 视野(选购品 1)
3 2 27.0mm 视野(选购品 2)
4 3 18.0mm 视野(选购品 3)
5 4 27.0mm 视野(选购品/高分辨率)
6 5∼63 预备

Rev1.00c
机械控制参数
4-56
4-4-6 共面性装置的设定
图4-4-6 共面性装置的设定
(1)设定画面的显示方法
菜单∶ [输入]→[图像]→[共面]→[装置设定]
起动∶ [图像]按键→[共面]标标→[装置设定]按键
(2)设定项目
输入范围
№ 项目
最小值 最大值
单
位
备考
1 共面装置设置方向 ° 0,90,180,270
2 共面装置扫描方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :0(Y+),
90° :3(X-),
180°:1(Y-),
270°:2(X+)
3
共面装置分割方向
0:Y+,1:Y-,2:X+,3:
X-
根据设置方向
0° :2(X+),
90° :1(Y-),
180°:3(X-),
270°:0(Y+)
4 测量方式
标准测定方式,
高精度测定方式