RS-1_FCS使用说明书 - 第57页
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FCS使用说明书
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3-2-3 HEAD 偏移量
在[取得设置的偏移量]框中选择项目，按照[调整基本偏移量]画面及各操作画面中显示的指示进行计测。
有关各操作画面的详细操作，请参照『RS-1 使用说明书』的「11 章 自我校准功能」的说明。
3-2-4 调整 VCS 摄像机偏差
在[取得设置的偏移量]框中选择项目，按照[调整基本偏移量]画面及各操作画面中显示的指示进行计测。
有关各操作画面的详细操作，请参照『RS-1 使用说明书』的「11章 自我校准功能」的说明。
3-2-5 VCS 复合识别偏移量
在[取得设置的偏移量]框中选择项目，按照[调整基本偏移量]画面及各操作画面中显示的指示进行计测。
有关各操作画面的详细操作，请参照『RS-1 使用说明书』的「11章 自我校准功能」的说明。
3-3 CPK 规格值（参考）
根据交付的规格书，将“3σ”与“平均值”相加的值作为规格值。总体数量很少，是使用 0603C、模具
元件的值，所以本 CPK 值为参考值。
表3-7 与定心方式、Head、识别元件对应的规格值
定心方式 Head 识别元件
XY 规格值
[mm]
θ规格值
[°]
激光
1～8 Head
（LNC120）
0603C
±0.05
±2.5
FCS 模具芯片 B
±0.3
VCS (54mm 视野)1～8 Head CAL 片 G
±0.03 ±0.2
VCS (27mm 视野)1～8 Head CAL 片 G
±0.03 ±0.2
VCS (10mm 视野)1～8 Head CAL 片 G2
±0.03 ±0.3
※ VCS 将评估的最大值，最小值。
◆ 修订履历
改版 日期 修订页 修订内容 备注
00 2017.01
初版
01 2017.04
全面修订
27mmVCS ，调整过程的附加
10mmVCS
修订
02 2017.07 P31
更改 10mm S-VCS 修订
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2017.07 Printed in Japan