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Test Research, Inc. TR7500 SIII Series User G uide – Soft ware 97 層:可設定 Base 和 1~3 不同 Layer 。 B ase 是將檢測框所 在位置設定為 量測 水平基準 面 ( 高度為 0) 。 Layer1 是將檢測框所在位置設定 為元件處(一般是晶片位置 或積體電路 導腳尾端)。 類別:可選擇 Normal 、 C hip 或者 Lead 。 - No…

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長邊遮罩:金手指兩端需遮蔽的範圍(預設 0μm)。
邊界範圍:FOV 影像邊界往內濾除的範圍(預設 250μm)。此功能是在避免當教導的影
像邊緣有不完整的金手指區塊而導致誤判。
3.7.18 高度量測(Laser3D)框
用途:用來檢測元件的 3D 形貌。檢測結果的參數設定請參閱 7.1。
檢測原理:利用 3D 雷射裝置測量並計算元件高度。
參數畫面與說明:
圖 136:高度量測框參數設定畫面
硬體設定:
相機:切換不同角度的相機,可選擇上、前、後、左、右五個方向。
燈光:選擇使用均勻光、錫形燈源、低角度燈源或者白燈,預設為白燈。
基本參數與其對應的合格標準

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TR7500 SIII Series User Guide – Software 97
層:可設定 Base 和 1~3 不同 Layer。Base 是將檢測框所在位置設定為量測水平基準
面(高度為 0)。Layer1 是將檢測框所在位置設定為元件處(一般是晶片位置或積體電路
導腳尾端)。
類別:可選擇 Normal、Chip 或者 Lead。
- Normal:適用於各種手動畫框的情況,須建立 Base、Layer1、Layer2(視情況)
或 Layer3(視情況)的 Laser3D 檢測框。框的位置配置如下圖所示。
圖 137:Laser3D 框 – Normal 類別檢測框配置示意圖
- Chip:僅用於晶片電阻元件。檢測框須包含晶片元件、焊盤和電路板底板,只須建
立 Layer1 層的 Laser3D 框。框的位置配置如下圖所示。
Layer1
Base

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圖 138:Laser3D 框 – Chip 類別檢測框配置示意圖
- Lead:僅用於有導腳的元件。檢測框須放置在電路板底板(作為 Base)和導腳尾端位
置(作為 Layer1)。框的位置配置如下圖所示。
圖 139:Laser3D 框 – Lead 類別檢測框配置示意圖
絕對高度:啟動絕對高度的參數檢測。
- 絕對高度標準:設定絕對高度值。絕對高度指的是檢測位置至底板的預期高度。
- 絕對高度上限:設定絕對高度值的公差值上限。
- 絕對高度下限:設定絕對高度值的公差值下限。
相對高度:啟動相對高度的參數檢測。
Layer1
Layer1
Base