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Test Research, Inc. TR7500 SIII Series User G uide – Soft ware 237 7 選配功能 ( 7500 SIII 3D 為標配功能 ) 7.1 3D 檢測功能 當機台裝有 3 Ｄ雷射檢測 裝置時，使用者可以在欲檢測 3D 模組的元件位置加上 Laser3D 檢測 框 ( 檢測框放置位置與 參數 說明請參閱 3.7.17 ) ，如下圖所示。 圖 353 ： Laser 3D 檢測框…
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236 TR7500 SIII Series User Guide – Software
6.6.5 精度補償狀態
此頁籤提供 XY 平台的補償功能診斷。使用此功能需搭配 150mm*150mm 的玻璃板先行校正。
圖 352：精度補償狀態頁籤
流程診斷區：此功能透過檢驗 150mm x 150 mm 玻璃板四個角落圓點的相對距離，來確
認軟體的平台精度補償功能是否正常。首先，使用者必須取得玻璃板四個角落的原始座標，
並透過平台補償功能來得到修正後的四組座標。最後，再計算這四組座標彼此間的距離是
否誤差小於 0.2μm，小於的話狀態會顯示為通過。
影像顯示區：顯示目前鏡頭所在位置的影像。操作方式可參閱 6.6.3 的影像顯示區說明。
前置設定：將鏡頭移動到玻璃板上相對應的位置後，使用[設定座標]來完成該對位標記的
設定。當四個方位都已經完成後，系統會根據剛剛設定的位置搜尋確切的圓點圓心座標，
以作為後續檢測的參考。
鏡頭移動控制區：點選指定的方向後會依照設定的數值進行步進動作。
流程診斷區
前置設定與鏡頭移動控制區
影像顯示區
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238 TR7500 SIII Series User Guide – Software
介面的右上方有一排功能圖示按鈕，下列將說明其功能。
：載入之前的圖檔。
：顯示橫切面的高度剖面圖，如下圖所示。使用者可以用滑鼠拖曳圖球點來變更欲檢測的
位置。
圖 355：3D 模組高度剖面圖功能
：以色彩來呈現元件高度的分布圖，如下圖所示。