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MS 参数 4- 11 ＜操作 ・ 4/5 ＞ 请根据指示按下 确认按钮 。 识别标记后，会 显示信息 。 如果可以保存测 量值，请 选择“是” 。 如选择“否” ， 将再次进行 标记识别，显示 与上图相同的信 息。 ＜操作 ・ 5/5 ＞ 按下确认就会传 出基板。
MS
参数
4-10
＜操作・1/5＞
请根据指示将基板设置于传送通道上。
＜操作・2/5＞
请根据指示按下确认按钮。
＜操作・3/5＞
请基板的标记位置进行示教，按下确认按钮。
识别标记后，会显示信息。
如偏移量大，只要选择“是”就可以再次进行调整值的获取。
会显示下图所示，请调整基板的傾角，然后按下确认按钮进行识别。
如偏移量小，就选择“否”转移到＜操作・4/5＞。
MS
参数
4-11
＜操作・4/5＞
请根据指示按下确认按钮。
识别标记后，会显示信息。
如果可以保存测量值，请选择“是”。
如选择“否”，将再次进行标记识别，显示与上图相同的信息。
＜操作・5/5＞
按下确认就会传出基板。
MS
参数
4-12
4-6 原点粗调
4-6-1 功能
为了通过回原点动作使OCC移动到校准块的第一标记的中心位置，在此设置偏移量值。
4-6-2 使用模具
本设置不使用模具。
4-6-3 操作
从菜单中选择“基座参数”－“ 原点粗调整”后，会显示如下所示的调整共通标记对话框，请
从“设备选择”中对希望取得的设备打勾。