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MS 参数 4- 12 4-6 原点粗调 4-6-1 功能 为了通过回原点 动作使 OCC 移动 到校准块的第 一标记 的中心位置，在此 设置偏移量值。 4-6-2 使用模具 本设置不使用模 具。 4-6-3 操作 从菜单中选择 “基座参数 ”－“ 原点粗调整” 后， 会显示如下所示的调 整共通标记对话 框， 请 从“设备选择” 中对希望 取得的设备打勾 。
MS
参数
4-11
＜操作・4/5＞
请根据指示按下确认按钮。
识别标记后，会显示信息。
如果可以保存测量值，请选择“是”。
如选择“否”，将再次进行标记识别，显示与上图相同的信息。
＜操作・5/5＞
按下确认就会传出基板。
MS
参数
4-12
4-6 原点粗调
4-6-1 功能
为了通过回原点动作使OCC移动到校准块的第一标记的中心位置，在此设置偏移量值。
4-6-2 使用模具
本设置不使用模具。
4-6-3 操作
从菜单中选择“基座参数”－“ 原点粗调整”后，会显示如下所示的调整共通标记对话框，请
从“设备选择”中对希望取得的设备打勾。
MS
参数
4-13
＜操作・1/3＞
准备好以后请选择确认。选择确认后，在回原点后OCC移动到CAL块第一标记上进行标记
识别。
根据识别结果显示出对设计值的偏移量。标记的识别中发生错误时，请利用示教使标记来
到视野的大体中心。
＜操作・3/3＞
设置结束。选择确认，回到初始操作画面。
如选择OK，则在显示确认信息框后，进行通常（有CAL块第一标记识别）的原点复归。
4-6-4 MSP 容许值
No.
项目 MSP容许值
MSP
值不良时
出现的问题
调整（检测）项目
1
第
1
标记偏移量
X
−40.0
～
10.0mm
返回原点不动作
CAL
块第一标记位置
Y
-40.0
～
10.0mm