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MS 参数 5- 14 ＜操作 ・ 1/5 ＞ 如 Head 上安 装有吸嘴，请 用简易控制卸下 吸嘴。 按下“操作”框 内的确认 按钮后，即测定 “到达真空状况 ” 。 计测结束后，会 显示以下 图表。
MS
参数
5-13
5-5 真空校准
5-5-1 功能
对出厂前在工厂内取得MS参数的真空值，与以真空校准取得的当前的装置值作比较，进行故障
解析。
以MS参数取得真空值的操作一般仅在工厂内进行，不必重新取得。
5-5-2 使用模具
本项目中不使用模具。
5-5-3 操作
从菜单中选择“贴片头参数”－“真空校准”后，会显示以下对话框。
选择要测量的Head。若要連续测量，请对要进行测量的Head装置旁边的连续测量按钮予以钩
选。
MS
参数
5-14
＜操作・1/5＞
如Head上安装有吸嘴，请用简易控制卸下吸嘴。
按下“操作”框内的确认按钮后，即测定“到达真空状况”。
计测结束后，会显示以下图表。
MS
参数
5-15
＜操作・2/5＞
“到达真空状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“自然破坏状况”。
测量完成后，与到达真空状况一样，会显示图表。
＜操作・3/5＞
“自然破坏状况”的测定结束后，按下“确认”按钮，测定“加压破坏状况”。
测量完成后，与到达真空状况一样，会显示图表。
＜操作・5/5＞
测定结束后，请按下“确认”按钮回到初始画面。