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MS 参数 5- 19 5-7 扩展 T 轴偏移量 5-7-1 功能 取得扩展 T 轴 偏移量 (θ皮 带转 1 圈量的波 动成分) 。 要进行参数的确 认或修正时, 请参照第 8 章 贴片参数中的“ 8-2 扩展 T 轴偏移 量” 。 5-7-2 使用模具 • 3.7 DUM MY W AF ER ( 40035043 ) ( 裸芯片 ) • 506 吸嘴( 40001344 ) ※ 506 的 吸嘴请预先给 AT C 分配好(孔号任…

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MS
参数
5-18
<操作2/3
完成全部测量之后,显示上述对话框。
按下确认,则返回初期设置画面。
5-6-4 MSP 容许值
No.
项目 MSP容许值
MSP
值不良时
出现的问题
调整(检测)项
1
转动停止偏移量
-179
°~
180
°
不能安装卡盘吸
卡盘吸嘴破损
确认卡盘吸嘴的
装及更换
MS
参数
5-19
5-7 扩展 T 轴偏移量
5-7-1 功能
取得扩展T偏移量(θ皮带转1圈量的波动成分)要进行参数的确认或修正时,请参照第8
贴片参数中的“8-2 扩展T轴偏移量”
5-7-2 使用模具
3.7 DUMMY WAFER
40035043
(
裸芯片
)
506
吸嘴(
40001344
506 吸嘴请预先给 ATC 分配好(孔号任意)
5-7-3 操作
从菜单中选择“贴片头参数”-“扩展T轴偏差”后,会显示以下对话框。
MS
参数
5-20
选择要测量的Head
<操作>
请在裸芯片平台上放置裸芯片。
请选择要测量的贴片头,选择执行。在所选择贴片头的较新贴片头上安装吸嘴,取得偏移量。
在裸芯片的图像识别发生错误时,请执行裸芯片吸取坐标的示教。
在全部贴片头测量结束后,请选择OK,并保存设定。
测量内容
贴片头角度设为 0 度。
打开贴片头真空,吸取裸芯片,并将其移动至校准台
通过 OCC 识别裸芯片的位置,计 中心位置和倾斜此时,如果无法识别裸芯片
报错。报错时,确认裸芯片位置。
使贴片头动作,使③测定裸芯片中心位置与设定的贴片头中心一致,吸裸芯片。
旋转裸芯片并重新放置,使裸芯片角度 0 度。
使贴片头的θ轴旋转-630 度。
吸取裸芯片,使θ角度较现在角度旋转90 ,将裸芯片贴片在吸着坐标上
对贴装的裸芯片进行图像识别,把握姿势
重复⑦⑧的动作直至 540 度。(+方向移动的偏移量)
吸取裸芯片,使θ角度旋转到 630 度后旋转到 540 度,贴装到吸取坐标上。
对贴装的裸芯片进行图像识别,把握姿势
吸取裸芯片,使θ角度旋转到当前角度-90 度,把裸芯片贴装到吸取坐标上。
对贴装的裸芯片进行图像识别,把握姿势
重复⑫⑬的动作直-540 度。(-方向移动的偏移量)
⑥~的动作重复 2 次。
对上述方法取得 2 次偏移量计算平均值,以+方向移动和-方向移动的 0 度上的偏
移量之平均值为基准从各偏移量值中减去
因为-540 和+540 度是相同的皮带位置,所以将取得的最大角度(540 度)为基
准,分别去除+方向移动、-方向移动的倾斜。