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MS 参数 7-2 <操作 ・ 1/3 > 选择要调整的设 备后,按 下“操作”框内 的“确认”按钮 。 “确认”按钮被 按下后, OCC 向真 空校准位置 移动。 <操作 ・ 2/3 > 利用示教设定真 空校准的 位置,按下“确 认”按钮后,真 空校准的位置 被更新。 <操作 ・ 3/3 > 调整结束后,将 显示上述 操作内容。选择 “确认” ,即返还 初始画面。

MS
参数
7-1
单元参数
7-1 VAC-CAL 偏移量(真空校准偏移量)
7-1-1 功能
进行VAC-CAL(真空校准)装配位置的设置。
7-1-2 使用模具
本项目中不使用模具。
7-1-3 操作
从菜单中选择“单元参数”-“真空-校准偏移量”后,会显示以下对话框。

MS
参数
7-2
<操作・1/3>
选择要调整的设备后,按下“操作”框内的“确认”按钮。
“确认”按钮被按下后,OCC向真空校准位置移动。
<操作・2/3>
利用示教设定真空校准的位置,按下“确认”按钮后,真空校准的位置被更新。
<操作・3/3>
调整结束后,将显示上述操作内容。选择“确认”,即返还初始画面。

MS
参数
7-3
7-2 校准台偏移量
“校准台”是作为各Head单元(台架)之高度基准的装置。
校准台偏移量就是取得这一装置的装配位置以及装配误差。
请将校准台擦拭干净之后再进行这一调整。
7-2-1 功能
计测校准台之第1标记及第2标记的位置,算出2个标记的中心位置。
7-2-2 使用模具
本项目中不使用模具。
7-2-3 操作
从菜单中选择“单元参数”-“校准台偏移量”后,会显示以下对话框。