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MS 参数 7- 21 执行 Z 方向位 置偏移时 ，在选择 了工具 Z 的状态 下，按下 示教按钮。 执行 XY 方向 偏移时， H MS 将移动至下图的 位置， 所以请测定 高度。 凸型 凹型
MS
参数
7-20
执行XY方向的位置偏移时，在选择了工具的X或者Y的状态下，按下示教按钮。
※对工具执行个别偏移时，不依照画面下部的操作指示也可以。
参考下图，对工具的角进行2点示教，对齐OCC相机与工具的中心。
凸型
凹型
MS
参数
7-21
执行Z方向位置偏移时，在选择了工具Z的状态下，按下示教按钮。
执行XY方向偏移时，HMS将移动至下图的位置，所以请测定高度。
凸型
凹型
MS
参数
8-1
贴片参数
8-1 元件计测速度
8-1-1 功能
当LNC120的旋转速度不一样时，对发生的角度偏移进行校正。
将激光测量中产生的对低速的偏离量作为偏移量算出。
8-1-2 使用模具
• 3.7 DUMMY WAFER
（
40035043
）
(
裸芯片
)
• 506
吸嘴（
40001344
）
8-1-3 操作
从菜单中选择“贴片参数”－“元件计测速度”后，会显示如下对话框。