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1-TM001B A3횡 작업 표준 사업부명 : 반도체 시스템 SM321 HARNESS 검사 작업지도서 PAGE : 4 O F 8 표준 번호 : R E V:0 0 장비명 공정코드 공정명 치 공 구 DVM 부 자 재 승인 담당 SM321 0290 전압 CHECK TEST (SAFETY CTR L CN1,CN2 접속시 활성화되는 AC,DC전원) 석명균 안효욱 ■ 작업방법 **. 아래의 순서대로 M…

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1-TM001B
A3횡
작업 표준
사업부명 : 반도체 시스템
SM321 HARNESS 검사 작업지도서
PAGE : 3 OF 8
표준 번호 :
REV:00
장비명 공정코드 공정명
치
공
구
DVM
부
자
재
승인 담당
SM321 0290
전압 CHECK TEST
(READY OFF시 활성화되는 AC/DC전원)
석명균 안효욱
전압 CHECK TEST
(READY OFF시 활성화되는 AC/DC전원)
■ 작업방법
**. 아래의 순서대로
MAIN 전원 SHORT TEST를 실시한다.
1. 전원 측정전 아래의 "CONNECTOR 분리 항목"의 CONNECTOR를 모두
분리하고 전원 측정을 실시한다.
2. MAIN POWER CONNECTOR의 전원을 측정한다. (R,S,T)
3. NOISE FILTER의 전원을 측정한다. (R,S,T)
4. CP#1,2,3의 입력단 전원을 측정한다.
(설정) CP#1 OFF, CP#2 OFF, CP#3 OFF
5. CP#1의 출력단 전원을 측정한다.
(설정) CP#1 ON, CP#2 OFF, CP#3 OFF
6. CP#2의 출력단 전원을 측정한다.
(설정) CP#1 ON, CP#2 ON, CP#3 OFF
7. CP#3의 출력단 전원을 측정한다.
(설정) CP#1 ON, CP#2 ON, CP#3 ON
8. TB#1 AC전원을 측정한다.
(설정) CP#1 ON, CP#2 ON, CP#3 ON
9. FAN #1~4 전원을 측정한다.
(설정) CP#1 ON, CP#2 ON, CP#3 ON
10. PC RACK 전원을 측정한다.
(설정) CP#1 ON, CP#2 ON, CP#3 ON
11. 전/후면 MONITOR 전원을 측정한다.
(설정) CP#1 ON, CP#2 ON, CP#3 ON
12. SAFETY CONTROL B/D CN1,CN2의 DC 전원을 측정한다.
(설정) CP#1 ON, CP#2 ON, CP#3 ON
■ 작업주의사항
1. 각 단계별 검사는 위의 작업 순서에 따라 한다.
2. 각 단계별 검사시 조건 설정을 필히 확인하고 검사 할 것.
▶ CONNECTOR 분리 항목 ◀
1. HEAD ILL BOARD : CN1
2. FRONT FEEDER I/F BD : CN4
3. FR OPERATOR BOARD : CN4
4. VME ILL BOARD : CN1
5. PC RACK 전원 분리
6. AXIS SENSOR BOARD : CN10
7. 좌/우 FAN 전원 분리
8. REAR FEEDER I/F BD : CN4
9. CAN CONVEYOR I/F BD : CN4
10. STEP R12, STEP R34, STEP R56 : R-POWER
11. WORK DRIVER : CN3
12. SAFETY CTRL & DC POWER BOARD : CN1,CN2
13. MOTOR DRIVER : Z1~6, SW, WD, X, Y1, Y2 전원 커넥터
14. CP1, CP2, CP3 : OFF
15. CONVEYOR PACK BD : CN1, CN7
NOISE
FILTER
R
S
T
CN1
CN2
SAFETY CONTROL B/D
NOISE FILTER
MAIN POWER CONNECTOR
CP#1(110V),#2(1ø220V),#3(3ø220V)
TB #1 [110V, 220V(1ø,3ø)
입력측
출력측
1-TM001B
A3횡
작업 표준
사업부명 : 반도체 시스템
SM321 HARNESS 검사 작업지도서
PAGE : 4 OF 8
표준 번호 :
REV:00
장비명 공정코드 공정명
치
공
구
DVM
부
자
재
승인 담당
SM321 0290
전압 CHECK TEST
(SAFETY CTRL CN1,CN2 접속시 활성화되는 AC,DC전원)
석명균 안효욱
■ 작업방법
**. 아래의 순서대로
MAIN 전원 SHORT TEST를 실시한다.
1. 장비 전원을 OFF하고,
SAFETY CONTROL B/D CN1,CN2의 CONNECTOR를
연결한다.
2. MOTOR DRIVER 제어전원(Z1~Z6, SW, WD, X, Y2, Y1)을 측정한다.
3. REAR FEEDER I/F BD CN4의 전원을 측정한다.
4.CONVEYOR I/F BD CN4의 전원을 측정한다.
5. AXIS SENSOR BD CN10의 전원을 측정한다.
6. FR OPERATOR BD KV-CN4의 전원을 측정한다.
7. FRONT FEEDER I/F BD CN4의 전원을 측정한다.
8. HEAD ILL BD CN1의 전원을 측정한다.
9. VME ILL BD CN1의 전원을 측정한다.
■ 작업주의사항
1. 각 단계별 검사는 위의 작업 순서에 따라 한다.
2. 각 단계별 검사시 조건 설정을 필히 확인하고 검사 할 것.
전압 CHECK TEST
(SAFETY CTRL CN1,CN2 접속시 활성화되는 AC,DC전원)
모터 드라이브
Z1~6, SW, WD
Z1-t
Z1-r
Z1-L3
Z1-L1
X, Y드리이브
Z1-t
Z1-r
Z1-L3
Z1-L2
Z1-L1
FRONT/REAR FEEDER
I/F BD CN4
CN4
CONV. I/F BD CN4
CN4
AX IS S NS
BD CN10
CN10
FR OPERATOR BD CN4
CN4
HEAD ILL BD CN1
CN1
VME ILL BD CN1
CN1
1-TM001B
A3횡
작업 표준
사업부명 : 반도체 시스템
SM321 HARNESS 검사 작업지도서
PAGE : 5 OF 8
표준 번호 :
REV:00
장비명 공정코드 공정명
치
공
구
DVM
부
자
재
승인 담당
SM321 0290
전압 CHECK TEST
(READY ON시 활성화되는 AC전원, DC전원)
석명균 안효욱
■ 작업방법
**. 아래의 순서대로
MAIN 전원 SHORT TEST를 실시한다.
1. 장비 전원을 OFF하고, 아래의 "CONNECTOR 접속항목 #1"과 같이
커넥터를 연결한다.
2. CONVEYOR I/F CN4번이 분리되어 있는지 확인한다.
3. SAFETY CTRL BD DIP S/W 1,2번 설정이 ON으로 되어 있는지
확인한다.
4. MAIN POWER S/W를 ON 하고 CP#1,2,3 이 모두 ON 되어있는지
확인한다.
5. 전/후면 EMERGENCY 버튼을 Release하고, 전/후면 DOOR 스위치를
조립하고, DOOR KEY를 스위치에 부착한다.
6. OP 판넬의 READY LED가 ON 되어 있는지 확인하고, READY를 누른다.
7. SAFETY CTRL BD의 RELAY 1,2,3,4가 ON 되었는지 확인한다.
8. MC #1,2의 전원을 측정한다.
9. TB#1의 전원을 측정한다.
10. MOTOR DRIVER 주전원(Z1~Z6, SW, WD, X, Y2, Y1)을 측정한다.
11. CONVEYOR PACK B/D CN7, CN1의 전원을 측정한다.
12. R STEPPING DRIVER POWER, WORK STEPPING DRIVER CN3 전원을
측정한다.
13. 측정완료후 장비를 OFF하고, 아래의 "CONNECTOR 접속항목 #2"와
같이 커넥터를 연결한다.
▶ CONNECTOR 접속 항목 #2 ◀
(전원 CHECK완료후 접속)
1. CAN CONVEYOR I/F BD : CN4
2. PC RACK 전원 접속
3. STEP R12, STEP R34, STEP R56 : R-POWER
4. WORK DRIVER : CN3
5. MOTOR DRIVER : Z1~6, SW, WD, X, Y1, Y2 전원 커넥터
6. CONVEYOR PACK BD : CN1, CN7
전압 CHECK TEST
(READY ON시 활성화되는 AC전원, DC전원)
▶ CONNECTOR 접속 항목 #1 ◀
(전원 CHECK전 접속)
1. HEAD ILL BOARD : CN1
2. FRONT FEEDER I/F BD : CN4
3. FR OPERATOR BOARD : CN4
4. VME ILL BOARD : CN1
5. AXIS SENSOR BOARD : CN10
6. REAR FEEDER I/F BD : CN4
MC# 1
MC# 2
TB1
Z1~6, SW, WD
Z1-t
Z1-r
Z1-L3
Z1-L1
X, Y드리이브
Z1-t
Z1-r
Z1-L3
Z1-L2
Z1-L1
MC #1, MC#2
TB #1 [110V, 220V(1ø,3ø)
모터 드라이브 주전원
R, WORK STEPPING DRIVER 전원 측정