KE-2050_2060_TroubleShooting_C_REv00 - 第102页
故障检修 錯誤消息集 3-83 要运行 MTS 时， MTS 处于紧急停止状态。 [ 解决 ] 请解除 MTS 紧急停止状态。 E290022 没有初始化 MTS 。 [ 原因 ] 要运行 MTS 时，没有运行 MTS 初始化。 [ 解决 ] 请用 MTS 的 HOD ，运行 MTS 初始化。 E290023 没有连接 MTS 。 [ 原因 ] 要运行 MTS 时，没有连接 MT 。 [ 解决 ] 请用 MTS 的 HOD 连接 MTS…
故障检修 錯誤消息集
3-82
如果不能使用 Head，就不能执行此操作。
E290008 因硬件出错，停止运行。
[原因]
轴或者其它硬件发生错误。 可能发生了警报、释放伺服或紧急停止等等。
[解决]
请锁定伺服或运行原点返回。
E290009 右侧 OCC 不能示教标记，请使用左侧 OCC。
[原因]
用右侧摄像机进行标记示教的时候，右侧摄像机不能完成标记示教.
[解决]
请使用左侧摄像机进行标记示教。
E290010 不能运行 DTS。
[原因]
要运行 DTS 时，DTS 发生错误。
[解决]
请检查 DTS 状态。
E290011 DTS 没有初始化。
[原因]
要运行 DTS 时，发现 DTS 没有初始化。
[解决]
请运行原点返回，完成 DTS 的初始化。
E290012 DTS 安全盖被打开。
[原因]
要运行 DTS 时，发现安全 DTS 的安全盖被打开。
[解决]
请关闭 DTS 的安全盖。
E290013 DTS 处于补充状态。
[原因]
要运行 DTS 时，DTS 处于补充状态。
[解决]
请按一下 DTS 补充按钮，解除 DTS 补充状态。
E290014 取出 DTS 托盘失败。
[原因]
要运行 DTS 时，取出 DTS 托盘失败。
[解决]
请检查 DTS 的状态。
E290015 在设置中，DTS 设备没有被选用。
[原因]
机器设置中，DTS 设备没有被选用。
[解决]
机器设置中，把 DTS 设备设置成使用。
E290016 这个设备不能移到指定坐标上。
[原因]
因为，在 HOD 上指定的设备在于不能移动 Head 的位置上。
[解决]
请使用别的设备进行示教。
E290017 检查模板数据合计出错。请再次示教修改。
[原因]
从图像基板取模板数据时，数据内容有错。
[解决]
请重新示教。
E290020 没有打开 MTS 电源。
[原因]
要运行 MTS 时，没有打开 MTS 电源。
[解决]
请打开 MTS 电源。
E290021 MTS 被紧急停止。
[原因]
故障检修 錯誤消息集
3-83
要运行 MTS 时，MTS 处于紧急停止状态。
[解决]
请解除 MTS 紧急停止状态。
E290022 没有初始化 MTS。
[原因]
要运行 MTS 时，没有运行 MTS 初始化。
[解决]
请用 MTS 的 HOD，运行 MTS 初始化。
E290023 没有连接 MTS。
[原因]
要运行 MTS 时，没有连接 MT。
[解决]
请用 MTS 的 HOD 连接 MTS。
E290024 MTS 托盘存储箱盖被打开。
[原因]
要运行 MTS 时，MTS 托盘存储箱盖已打开。
[解决]
请关闭 MTS 托盘存储箱盖。
E290025 MTS 处于补充状态。
[原因]
要运行 MTS 时，MTS 处于补充状态。
[解决]
请按一下 MTS 的补充状态开关，解除 MTS 的补充状态。
E290026 MTS 托盘存储箱不存在。
[原因]
要运行 MTS 时，没有装入 MTS 的托盘存储箱。
[解决]
请检查 MTS 的托盘存储箱。
E290027 MTS 取出托盘失败。
[原因]
MTS 取出托盘失败。
[解决]
请检查 MTS 的状态。
E290028 在设置中，MTS 装置没有被选用。
[原因]
机器设置中 MTS 设置成[未使用]。 如果机器上没有配置 MTS，机器设置中 MTS 不能设置成[使用]。
[解决]
机器设置中 MTS 设置成[使用]。
E290029 模板数据传输发生错误。请再次示教修改。
[原因]
用示教建立模板数据或传输时，发生错误。
[解决]
请再一次进行示教。
Q290500 这个设备不能移到指定坐标上。 从当前位置开始示教，请按[是]；停止，请按[否]。
[原因]
HOD 选择的设备不能移到指定坐标。因此、询问是否从当前位置开始进行示教(Teach)。
[解决]
继续，请单击[是]；停止，请单击[否]。
Q290501 运行示教操作，请注意安全。 执行，请按[是]；停止，请按[否]。
[原因]
因为将要开始轴移动，提醒注意安全。
[解决]
继续，请单击[是]；停止，请单击[否]。
Q290502 不能运行坐标校正。 不考虑校正继续运行示教，请按[是]；停止，请按[否]。
[原因]
要准确示教坐标必须进行坐标校正，但坐标校正中的标志识别已经失败几次。即使得不到准确示教结果，
也是否继续进行的询问。
[解决]
继续，请单击[是]；停止，请单击[否]。
Q290503 已经存在标记，是否覆盖保存？
故障检修 錯誤消息集
3-84
[原因]
已经存在注册的标记数据，是否要覆盖保存数据。
[解决]
覆盖保存，请单击[是]；停止，请单击[否]。
机器操作
机器操作机器操作
机器操作(
((
(补助编辑程序
补助编辑程序补助编辑程序
补助编辑程序)
))
)
E291000 因为正在运行传送操作，所以不能执行。
[原因]
正在进行传送中。
[解决]
等它结束后，在执行。
E291001 没有执行原点返回。 请执行原点返回后，再次操作。
[原因]
尚未进行原点返回。
[解决]
请按原点返回按钮执行原点返回后，再次运行。
E291002 轴不能移到等待位置。停止运行。
[原因]
轴不能移到等待位置。
[解决]
请用手动控制操作，检查轴能不能正常活动。
E291003 不能执行传送。 停止运行。
[原因]
不能进行传送操作。
[解决]
请用手动控制操作，检查传送能不能正常进行。
E291004 传送超过时间。 停止运行。
[原因]
基板传送超时。
[解决]
请用手动控制操作，检查传送能不能正常进行。
E291005 轴不能移动。停止运行。
[原因]
轴不能移动。
[解决]
请用手动控制操作，检查轴能不能正常活动。
E291006 没有设置 BOC 标记数据。 停止运行。
[原因]
基板数据上没有设定标记数据，或基板数据不完全。
[解决]
请设定标记数据并完善基板数据。
E291007 在设置中，OCC 装置没有被选用。
[原因]
在单元的设置中，未选用 OCC 装置。
[解决]
如果可以使用 OCC，请在单元设置中选用 OCC 装置。 如果不能使用 OCC，就不能执行此操作。
E291008 设置数据有差错。
[原因]
输入的数据不正确。
[解决]
请检查输入值。
E291009 设置数据超出范围。
[原因]
输入的数据超出输入范围。
[解决]
请输入范围内的值。
E291010 因超过传送余宽允许范围，不能进行操作。
[原因]