KE-2050_2060_TroubleShooting_C_REv00 - 第287页
故障检修 錯誤消息集 3-268 ２．共面检测错误的详细情况 ２．共面检测错误的详细情况 ２．共面检测错误的详细情况 ２．共面检测错误的详细情况 ＭＪＧ 错误 共面错误： 错误代码 错 错 错 错误 误 误 误 错误 错误 错误 错误 代码 代码 代码 代码 错误内容 发生错误原因 2 1‐1 000 软件运行环境异常 1 5 －1 0 1 0 PC 内存异常 1 7 －1 060 传感器 Head 内部激光二极管异常 20 －1 07…
故障检修 錯誤消息集
3-267
3
33
3-
--
-4
44
4
共面检测错误的详细情况
共面检测错误的详细情况共面检测错误的详细情况
共面检测错误的详细情况
１．ＶＣＳ监视器共面检测错误的详细表示
１．ＶＣＳ监视器共面检测错误的详细表示１．ＶＣＳ监视器共面检测错误的详细表示
１．ＶＣＳ监视器共面检测错误的详细表示
用共面检测传感器测量元件的结果，显示在本体监视器以外还在 VCS 监视器上被显示。
如下图，测量正常结束和发生错误。
■正常测量时
■发生错误时
COPLA
_
OK
MJG、FABS
FABSFABS
FABS
COPLA_ERROR:1
11
1＿
＿＿
＿3080
30803080
3080
故障检修 錯誤消息集
3-268
２．共面检测错误的详细情况
２．共面检测错误的详细情况２．共面检测错误的详细情况
２．共面检测错误的详细情况
ＭＪＧ 错误
共面错误： 错误代码
错
错错
错误
误误
误
错误
错误错误
错误
代码
代码代码
代码
错误内容 发生错误原因
21‐1000 软件运行环境异常
15－1010 PC 内存异常
17－1060 传感器 Head 内部激光二极管异常
20－1070 信号处理端口内部内存异常
如果关闭电源后重新启动系统也解决不了问题
时,考虑为传感器故障。
18－1080 传感器电缆未连接 能考虑为共面用传感器电缆
※１
的接触不良。请关
闭电源后重新启动系统。
19－1090 传感器 Head 内部扫描仪运转状
态不正常
・ 没有供给传感器 Head 的直流 24V 直流电流。
・ 传感器扫描仪停止运转。
如果以上两种都没有问题，但重新启动系统也不
能恢复正常时，能考虑为传感器的故障。
FSYS
17－1100 激光熄灯
能考虑为共面用传感器电缆
※１
的接触不良。
12－2010 在传感器高度调整中,接受不正
当指令。
能考虑为共面 232C 电缆
※2
的接触不良。
12－2030 发送指令时的鉴别器不正当 ・ 机器软件故障。
12－2040 执行测量后 10 秒以内没能识别
出测量开始信号
・ 共面 I/F 电缆
※３
的接触不良。
・ 从 XMP 转播基板没有输出编码器脉冲。
・ 能考虑为传送续电器基板没有输出任何开始
触发信号。
12－2050 发送不正当指令
输入范围外的参数设定
・ 机器软件故障。
12－2060 没有注册元件信息
没有要测量的图像
・ 机器软件故障。
（没有结束测量之前传感器发送其他的指令）
FOPE
12－2070 不恰当的测量模式被选择
・ 测量模式不恰当。请检查元件和测量模式是否
一致。
FCOP 1－3000 共面检测值超过判定有效值 ・ 不是故障。请用 VGA 切换器显示图像、或用「操
作选项」中的「错误时暂停」功能输出详细信
息来检查引起错误的端子。
FPOS 2－3010 端子位置偏移量超过判定有效值 ・ 测量中元件滑动时发生。
3－3020 ・ 测量图像时没有检测到象样的
端子（测量图像漆黑）
・ 超出测量范围的高度
・ 元件落下等没有吸取元件而要进行测量时，发
生的错误。
・ 能考虑为输错元件高度而引起的错误。
3－3030 元件图像超出测量图像框架 ・ 在移动中因元件滑动而不能正常测量。
・ 能考虑为输错元件外形尺寸而引起的错误。
3－3040 端子的存在位置对元件信息显著
地不同
・ 元件信息不同的时候发生。
3－3060 设置校正指令 ・ 能考虑为用 MSP 参数调整块规时，块规没有被
正确吸取时发生。
6－3110 元件离开传感器的距离超出测量
范围
・ 被输入的元件高度与实际元件高度不同时，会
发生此错误,请检查被输入的元件高度。
FNUM
7－3120 元件离开传感器的距离超出测量
范围
・ 被输入的元件高度超出实际元件高度时会发
生此错误,请检查被输入的元件高度。
FLIN 4－3070 平行测量值超出判定有效值 ・ 不是故障。请用 VGA 切换器显示图像、或用「操
作选项」中的「错误时暂停」功能输出详细信
息来检查引起错误的端子。
故障检修 錯誤消息集
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5－3080 ・ 残缺端子
・ 端子弯曲度大
・ 在端子上不能取有效的数据
（端子部分的测量图像不清
晰）
・ 请检查残缺端子。比如，用 VGA 切换器显示图
像、或用「操作选项」中的「错误时暂停」功
能输出详细信息。
・ 如下图，引脚间距为 1/3 以上，或较长方向上
的引脚弯曲为其幅度以上时，发生此错误。
・ 如果端子没有残缺时，能考虑为端子表面受影
响而不能正常测量的情况。请修改以下的参数
之后,重新测量。
① 修改「共面检测数据」的「引脚亮度阈值」。
② 修改「共面检测数据」的「
扫描偏移量
」。
③ 修改「共面检测数据」的「引脚光泽信息」。
5－3130 端子图像不清晰 ・ 能考虑为端子表面的反射差而引起的错误。
・ 请调整「共面检测数据」的「引脚亮度阈值」(降
低该值)。
FABS
5－3140 端子过分亮
・ 端子表面的反射太强而引起的错误。请调整
「共面检测数据」的「引脚亮度阈值」(增大该值)。
FSLP 3－3100 元件倾斜 ・ 能考虑为因吸取错误,而引起元件倾斜的可能性。
FELS 14－9000 软件异常 ・ 共面检测软件发生障碍。
14－14 IP＿X 基板超时 ・ 共面检测软件发生障碍。
・ 能考虑为共面 232C 电缆
※2
的接触不良。
无
14 机器（系统）超时
・ IP_X 基板不良。
・ 共面检测软件发生障碍。
３．共面检测电缆接线图
３．共面检测电缆接线图３．共面检测电缆接线图
３．共面检测电缆接线图
※３
※３※３
※３共面
共面共面
共面Ｉ／Ｆ
Ｉ／ＦＩ／Ｆ
Ｉ／Ｆ电缆
电缆电缆
电缆
※１
※１※１
※１共面
共面共面
共面用
用用
用传感器电缆
传感器电缆传感器电缆
传感器电缆
※２
※２※２
※２共面
共面共面
共面２３２
２３２２３２
２３２C 电缆
电缆电缆
电缆
引脚幅
：W
引脚间距
：P
时