KE-2050_2060_TroubleShooting_C_REv00 - 第64页
故障检修 錯誤消息集 3-45 E64 1 248 MTS 登录函数错误 : IPC 发送错误 (DTS- 1 ) E64 1 249 MTS 登录函数错误 : IPC 接收错误 (DTS- 1 ) E64 1 250 MTS 登录函数错误 : IPC 发送错误 (DTS-2) E64 1 25 1 MTS 登录函数错误 : IPC 接收错误 (DTS-2) E64 1 300 MTS 信息 : 运行错误 E64 1 30 1 MTS …
故障检修 錯誤消息集
3-44
E641108 MTS 系统错误(E108) : 固定传感器发生错误(Y 轴)
E641110 MTS 系统错误(E110) : 软件界限(Z 轴)
E641112 MTS 系统错误(E112) : 软件界限(Y 轴)
E641115 MTS 系统错误(E115) : 更换托盘存储箱发生错误
E641116 MTS 系统错误(E116) : NV-RAM 发生错误
E641117 MTS 系统错误(E117) : 滑梭打开/关闭传感器错误
E641120 MTS 系统错误(E120) : 驱动超时(Z 轴)
E641122 MTS 系统错误(E122) : 驱动警报(Y 轴)
E641125 MTS 系统错误(E125) : 退出错误(Y 轴)
E641127 MTS 系统错误(E127) : 托盘错误
E641132 MTS 系统错误(E132) : 回收托盘错误(发现元件浮动)
E641137 MTS 系统错误(E137) : 固定托盘存储箱错误
E641140 MTS 系统错误(E140) : 不能起动伺服驱动器(Z 轴)
E641150 MTS 系统错误(E150) : 伺服警报
E641160 MTS 系统错误(E160) : 测试方式移动超时
I641170 MTS : 抽出动作被取消要求而取消
I641181 MTS : 抽出动作因脱机状态转换被取消
I641182 MTS : 抽出动作因补充状态转换被取消
I641183 MTS : 抽出动作被 MTC 紧急停止按钮取消
I641184 MTS : 抽出动作被再试操作而停止
I641185 MTS : 抽出动作因元件短缺被停止
I641186 MTS : 抽出动作因补充操作的实施被停止
E641202 MTS 通讯错误 : 数据错误
E641203 MTS 通讯错误 : 通讯错误
E641204 MTS 通讯错误 : 步骤错误
E641205 MTS 通讯错误 : 同步错误
E641206 MTS 通讯错误 : 停电错误
E641207 MTS 数据错误 : 托盘阶层号指定错误
E641208 MTS 错误 : MTS 没有被设置
E641209 MTS 数据错误 : 没有发现正文开始符(STX),结束符(ETX)
E641210 MTS 数据错误 : 指定了未定义命令代码
E641211 MTS 错误 : 抽出要求被重复发送(WAIT)
E641212 MTS 错误 : 抽出要求被重复发送(KICK)
E641213 MTS 错误 : 抽出要求错误
E641214 MTS 错误 : 应答超时
E641217 MTS 错误 : MTS 未结束初始化
E641218 MTS 错误 : 在脱机状态下，MTS 不能运转
E641219 MTS 错误 : 因空气压力下降，MTS 不能运转
E641220 MTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTC-1)
E641221 MTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTC-2)
E641222 MTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTS-1)
E641223 MTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTS-2)
E641224 MTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(DTS-1)
E641225 MTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(DTS-2)
E641230 MTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTC-1)
E641231 MTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTC-2)
E641232 MTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTS-1)
E641233 MTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTS-2)
E641234 MTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(DTS-1)
E641235 MTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(DTS-2)
E641240 MTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTC-1)
E641241 MTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTC-1)
E641242 MTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTC-2)
E641243 MTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTC-2)
E641244 MTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTS-1)
E641245 MTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTS-1)
E641246 MTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTS-2)
E641247 MTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTS-2)
故障检修 錯誤消息集
3-45
E641248 MTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(DTS-1)
E641249 MTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(DTS-1)
E641250 MTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(DTS-2)
E641251 MTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(DTS-2)
E641300 MTS 信息 : 运行错误
E641301 MTS 信息 : 重试结束
E641302 MTS 信息 : 无元件
E641303 MTS 信息 : 脱机
E641304 MTS 信息 : 补充
E641401 MTC 通讯错误 : 超过时间(Ready Waiting Observation)
E641402 MTC 通讯错误 : 超过时间(Sync Character Observation)
E641403 MTC 通讯错误 : 超过时间(ETX Observation)
E641404 MTC 通讯错误 : MTS 电源被关闭
E641405 MTC 通讯错误 : 超过时间(Responseless Observation)
E641406 MTC 通讯错误 : 接收数据合法性错误
E641407 MTC 通讯错误 : 访问通讯缓冲器发生错误
E641408 MTC 通讯错误 : 超过时间(数据连接释放 1)
E641409 MTC 通讯错误 : 超过时间(数据连接释放 2)
E641410 MTC 通讯错误 : MTS 通讯初始化失败
E642202 DTS 通讯错误 : 数据错误
E642203 DTS 通讯错误 : 通讯错误
E642204 DTS 通讯错误 : 步骤错误
E642205 DTS 通讯错误 : 同步错误
E642208 DTS 错误 : DTS 没有被设置
E642210 DTS 数据错误 : 指定了未定义命令代码
E642211 DTS 错误 : 抽出要求被重复发送(WAIT)
E642214 DTS 错误 : 应答超时
E642217 DTS 错误 : DTS 未结束初始化
E642218 DTS 错误 : 在补充阶段，DTS 不能运转
E642220 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTC-1)
E642221 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTC-2)
E642222 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTS-1)
E642223 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(MTS-2)
E642224 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(DTS-1)
E642225 DTS 登录函数错误 : 打开 IPC 对象发生错误(DTS-2)
E642230 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTC-1)
E642231 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTC-2)
E642232 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTS-1)
E642233 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(MTS-2)
E642234 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(DTS-1)
E642235 DTS 登录函数错误 : 关闭 IPC 对象发生错误(DTS-1)
E642240 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTC-1)
E642241 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTC-1)
E642242 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTC-2)
E642243 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTC-2)
E642244 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTS-1)
E642245 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTS-1)
E642246 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(MTS-2)
E642247 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(MTS-2)
E642248 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(DTS-1)
E642249 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(DTS-1)
E642250 DTS 登录函数错误 : IPC 发送错误(DTS-2)
E642251 DTS 登录函数错误 : IPC 接收错误(DTS-2)
E642301 DTS 通讯错误 : ACK 应答超时
E642302 DTS 通讯错误 : 接收 ACK/NAK 超时
E642303 DTS 通讯错误 : 执行命令超时
E642304 DTS 通讯错误 : 设置应答超时
E642305 DTS 通讯错误 : 接收数据合法性错误
故障检修 錯誤消息集
3-46
E642306 DTS 通讯错误 : 接收正文结束符(ETX)错误
E642311 DTS 错误 : DTS 发生错误
E642312 DTS 错误 : 因未结束初始化，不能运转
E642313 DTS 错误 : 因安全盖被打开，不能运转
E642314 DTS 错误 : 在补充阶段不能运转
E642315 DTS 错误 : 因为其它原因，不能运转
E642321 DTS 错误 : 托盘设置要求错误
E642322 DTS 错误 : 补充要求错误
基板传送驱动器
基板传送驱动器基板传送驱动器
基板传送驱动器・
・・
・自动传送
自动传送自动传送
自动传送・
・・
・空运转
空运转空运转
空运转
错误代码
错误代码错误代码
错误代码
信息
信息信息
信息
_650000
_650000_650000
_650000
E650001 基板传送错误 : 传送系统错误。
E650100 基板传送错误: 传送基板时，发生异步现象。
E650208 传送基板错误 : 检查中心马达停止错误。
W650211 传送基板错误 : C.OUT 传感器发现基板。请移走出口缓冲器的基板。
E650218 传送基板错误 : 不是 Resume 暂停状态，却被接受 Resume 返回原点命令。
W650219 传送基板错误 : 正在传送基板。
E650221 传送基板错误 : 等待传感器 OFF 超时。
E650222 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请卸下基板。
E650223 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板出错，被强行停止。 请取下基板。
E650224 传送基板错误 : 入口缓冲区搬入基板超过时间。
E650226 传送基板错误 : 基板在入口缓冲区～中心缓冲区移动时，发现入口传感器 On。请取下基板。
E650227 传送基板错误 : 入口传感器 OFF 超时。
E650232 传送基板错误 : STOP 传感器 OFF 超时。
E650233 传送基板错误 : C.OUT 传感器 OFF 超时。
E650234 传送基板错误 : 基板从入口区到中心区移动超过时间。
E650235 传送基板错误 : C.OUT 传感器 ON 超时。
E650236 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
E650237 传送基板错误 : 中心 STOP ON 时，发现 STOP 传感器 ON 错误。
E650238 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 ON 超时。
E650239 传送基板错误 : 基板吸取被控制时，真空传感器 OFF 超时。
E650240 传送基板错误 : 真空台使用设置与机器设置不同。
E650261 传送基板错误 : OUT 缓冲器搬出基板超时。
E650262 传送基板错误 : OUT 传感器 OFF 超时。
E650264 传送基板错误 : 从出口侧中心缓冲区到出口缓冲区，基板移动超时。
E650265 传送基板错误 : 出口缓冲区，基板搬出超时。
E650266 传送基板错误 : 出口快门超时。
E650267 传送基板错误 : OUT 传感器 ON 时，发现 C.OUT 传感器 ON 错误。
E650271 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台上升失败。
E650272 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台上升超时。
E650273 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台下降失败。
E650274 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台下降超时。
E650275 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台马达运转异常。
E650276 基板固定错误 : 中心缓冲区，孔基准动作异常。
E650277 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台制动器固定错误。
E650278 基板固定错误 : 中心缓冲区，支撑台制动器释放错误。
W650309 传送基板(通过)错误 : 传送轨道上发现基板。
W650311 传送基板(通过)错误 : 中心缓冲区发现基板。
W650312 传送基板(通过)错误 : 入口侧中心缓冲区发现基板。
W650313 传送基板(通过)错误 : 出口侧中心缓冲区发现基板。
W650314 传送基板(通过)错误 : 出口缓冲区发现基板。
E650319 传送基板(通过)错误 : 正在运行传送基板(通过)。
E650321 传送基板(通过)错误 : 入口缓冲区马达运转异常。
E650322 传送基板(通过)错误 : 入口传感器 / 等待传感器同时打开错误。
E650323 传送基板(通过)错误 : 入口传感器 / 等待传感器同时打开错误。