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3- 17 3 3. 基板情報を作る 3.4 フィデューシャルパラメーター フィデューシャル機能とは、基板上に設置されたフィデューシャルマークの認識結果から基板の基 準穴または外形加工誤差、基板固定機構から生じる誤差、基板上の局所的な歪みを補正する機能で す。ここでは、フィデューシャル機能を使うためのフィデューシャルマークを設定します。フィ デューシャルマークは 2 点または 4 点を 1 組と…
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3. 基板情報を作る
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注意
ブロック展開したデータは元に戻せませんので注意してください。
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搭載に展開されたデータが表示されますので確認をしてください。また、展開を行うと
全てのブロックオフセットがクリアされます。また、実行したくないブロックがあった
場合はチェックボックスボタンを押してチェックボックスにチェックを入れてください。
ブロック展開後のデータ
ブロック単位展開の例
26318-E5-00
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3. 基板情報を作る
3.4 フィデューシャルパラメーター
フィデューシャル機能とは、基板上に設置されたフィデューシャルマークの認識結果から基板の基
準穴または外形加工誤差、基板固定機構から生じる誤差、基板上の局所的な歪みを補正する機能で
す。ここでは、フィデューシャル機能を使うためのフィデューシャルマークを設定します。フィ
デューシャルマークは 2 点または 4 点を 1 組とし、それぞれのマークの形状が異っていても構いま
せん。使用するフィデューシャルマークのデータは、前もってマーク情報に登録しておく必要があ
ります。（本章の「5. マーク情報を作る」を参照。）
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フィデューシャルマークパラメーター画面
26409-E5-20
1 基板、ブロック、ローカル
フィデューシャル機能には大きく分けて、基板単位で設定する「基板」フィデューシャル、割り
基板のブロック単位で設定する「ブロック」フィデューシャル、搭載データ単位で設定する
「ローカル」フィデューシャルがあります。有効にしたいフィデューシャル機能を「実行する」に
設定します。変更するときは、[編集]ボタンを押してください。
2 基板
パラメーターリストの最上行には、基板フィデューシャルマークを設定をします。
3 ブロック
パラメーターリストの 2 行目には、ブロックフィデューシャルマークを設定をします。
4 パターン名称
フィデューシャルマークの名称を入力します。（１行目と２行目には入力できません。）
5 種類
パラメーターリストの３行目以降にローカルフィデューシャル機能の種類を指定します。「ポイン
ト」、「ローカル」、「4 ローカルメイン」、「4 ローカルサブ」から選択します。
6 X1, Y1
フィデューシャルマーク 1 の基板原点から XY 座標を入力します。[ティーチ]ボタンでティーチン
グすることもできます。
7 マーク１
フィデューシャルマーク 1 に使用するマーク番号（マーク情報に登録したマーク）を入力します。
8 X2, Y2
フィデューシャルマーク 2 の基板原点からの XY 座標を入力します。[ティーチ]ボタンでティーチ
ングすることもできます。
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3. 基板情報を作る
9 マーク 2
フィデューシャルマーク 2 に使用するマーク番号（マーク情報に登録したマーク）を入力します。
マーク 1 と同じであるなら、「0」でもかまいません。
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要点
マークのXY座標は [ティーチ]ボタンでティーチングすることもできますが、この座標データはの正確
さは搭載精度に影響しますので、正確な設計データを利用して入力することをお勧めします。