YSM40R_Mainte_K.pdf - 第114页
3-45 3 3. 4.2 에어 B as e - M AC S 의 청소 ( 4 빔 ) Base-MA C S 기 능이 란 , 장 비 베 이 스의 열 확 장을 보 정 하 기 위 해 장 비 내 의 각 포 인 트 에 있 는 마 크의 좌 표 를 피 듀 셜 카 메 라 로 일 정 시 간 마 다 확 인 하는 기 능 입 니 다 . YSM 4 0R 의 4 빔 사 양 장 비 에 서 는 , 광 학 계 툴을 이 용 한…
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3
1
작업 준비를 합니다 .
1.
장비 뒤쪽의 대차를 탈착합니다 .
2. 장비 뒤쪽 테이프 커터부의 덕트를 탈착합니
다.
3. 장비의 전원을 OFF 합니다 .
4. 청소에 사용할 청소기를 준비해 주십시오 .
2
천장부의 필터를 분리합니다 .
1. 장비 뒤쪽의 안전커버를 열고 , 장비 안쪽에서
필터에 접근합니다 .
2. 필터의 손잡이를 잡고 , 필터에 묻어있는
먼지 등이 떨어지지 않도록 천천히 빼 주십시
오.
3. 천장부의 필터는 2 장 있습니다 . 양쪽 다 빼
주십시오 .
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3
컨베이어 I/O 부 필터를 분리합니다 .
필터의 손잡이를 잡고 , 위로 조금 올려서 뒤쪽
으로 당겨서 뺍니다 .
4
뒤쪽 베이스부의 필터를 분리합니다 .
필터의 손잡이를 잡고 , 위로 조금 올려서 뒤쪽
으로 댱겨서 뺍니다 .
5
필터를 청소합니다 .
청소기로 필터에 묻어 있는지 먼지를 흡입해 주십
시오 .
c
주의
필터를 젖은 상태로 사용하면 , 먼지가 수분에 의해 뭉쳐서 막히
기 쉬워집니다 . 가능한한 물은 사용하지 마시고 , 청소기로 청소
해 주십시오 .
n
요점
더러움이 심하거나 , 열화되어 있을 경우는 새로운 필터로
교환해 주십시오 .
6
필터를 원상태로 장착합니다 .
분리했을 때와 반대순으로 필터를 장착해 주십시
오.
c
주의
천장부의 필터는 낙하방지를 위해 마그넷을 사용하고 있습니다 .
필터를 장착할 때에는 , 안쪽 끝까지 확실하게 끼우고 마그넷으로
흡착하고 있는지 확인해 주십시오 .
7
테이프 커터부의 덕트를 원상태로 장착
합니다 .
필터의 분리
■ 천장부 필터 (장비 내부에서 본 그림)
■ 컨베이어 I/O부 필터
■ 뒤쪽 베이스부의 필터
Step 2-4
필터
필터
손잡이
손잡이
필터
손잡이
마그넷
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3
3.4.2 에어
Base-MACS
의 청소 (4 빔 )
Base-MACS 기능이란 , 장비 베이스의 열확장을 보정하기 위해 장비내의 각 포인트에 있는 마크의 좌표를 피듀
셜 카메라로 일정 시간마다 확인하는 기능입니다 .
YSM40R 의 4 빔 사양 장비에서는 , 광학계 툴을 이용한 마크 (에어 Base-MACS) 를 사용하고 있으므로 , 렌즈
의 정기적인 점검과 청소가 필요합니다 .
에어 Base-MACS
컨베이어 중앙부
에어 Base-MACS
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1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
2
렌즈상의 먼지를 블로워 브러시로 털어
냅니다 .
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참고
블로워 브러시는 옵션 구입품입니다 .
3
와이퍼로 렌즈를 청소합니다 .
더러움이 심할 경우에는 , 와이퍼에 렌즈 클리너를
몇 방울 묻혀서 , 닦아 주십시오 .
n
요점
와이퍼는 먼지가 나지 않는 클린룸 용을 사용해 주십시오 .
렌즈 클리너는 옵션 구입품입니다.
Step 2
에어 Base-MACS의 청소
블로워 브러시
에어 Base-MACS
렌즈
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3
3.5 일괄교환 대차
3.5.1 가이드 레일 커버 클램프부의 청소와 급유
1
대차를 탈착합니다 .
대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
2
대차의 가이드 레일 커버를 오픈합니
다.
대차의 좌우에 있는 잠금 장치를 해제하고 ,
가이드 레일 커버를 올려 주십시오 .
3
클램프부와 위치 결정부를 청소합니다 .
와이퍼로 대차의 좌우에 있는 가이드 레일 커버의
클램프부 및 , 위치 결정부의 오래된 구리스와
더러움을 닦아 주십시오 .
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구리스를 도포합니다 .
장갑을 낀 손에 지정 구리스 (NSL) 를 묻혀서
커버 클램프부와 위치 결정부에 균일하게 도포해
주십시오 .
가이드 레일 커버 클램프부의 청소
Step 3
커버 클램프부
위치 결정부
잠금 장치
가이드 레일 커버
와이퍼