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3-64 3 5 . 4.2 에어 / 미스 트 필 터 및 컵의 청소 에 어 컴 프 레 서 내 의 오 일 , 물 , 불 순물 등 이 장 비 안 으로 유 입 되 지 않 도 록 , 장 비 의 원 에 어 접 속부 에 는 에 어 필 터 및 미 스트 필 터 가 사용 되 고 있 습 니 다 . 이 들 필 터 의 점 검• 청 소 및 필 터 용 미 디 어 ( 엘 리 먼 트 필 터 ) 의 교 환 방 법 을 다음 …
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3
5.4 베이스부 , 그 외
5.4.1 필터의 청소
흡기 팬 필터와 같이, 컨트롤러부의 필터도 청소를 소홀히하면 필터가 막혀서, 장비내부의 온도 상승을 유발합니
다. 장비의 기능저하 및 수명단축의 원인이 될 수 있으므로 , 정기적으로 각 필터의 청소를 실시해 주십시오 .
정기적으로 청소가 필요한 필터는 2 종류이며 , 하기의 3 군데에 설치되어 있습니다.
시스템 컨트롤러용 : 장비의 배면 중앙에 1 군데
서보 컨트롤러용 : 정면 좌측에 1 군데 , 배면 우측에 1 군데
1
작업 준비를 합니다 .
1. 장비 뒤쪽의 대차와 테이프 커터부의 덕트를
탈착합니다 .
2. 장비의 전원을 OFF 합니다 .
2
커버를 탈착합니다 .
십자 드라이버로 , 장비의 정면 좌측 커버 및
장비의 배면 중앙 커버와 배면 우측 커버의 나사
를 분리해서 , 커버를 탈착해 주십시오 .
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3
필터부를 탈거합니다 .
십자 드라이버로 필터부를 고정하고 있는 나사를
풀고 앞쪽으로 당겨서 빼 주십시오 .
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4
필터를 청소합니다 .
청소기 또는 버큠 툴로 필터의 먼지를 제거해 주십
시오 .
n
요점
필터를 교환할 필요가 없을 경우는 , Step6 으로 진행해 주십
시오 .
5
필터를 교환합니다 .
더러움이 심하거나 , 노화되어 있을 경우는 , 우측
그림을 참고해서 새로운 필터로 교환해 주십시오 .
참고
필터는 우측 그림과 같이 위 아래의 패널 사이에 끼워져 있
습니다 .
6
필터를 원상태로 되돌립니다 .
분리했을 때와 반대 순서로 필터를 장착해 주십시
오.
7
커버를 원위치에 장착합니다 .
8
테이프 커터부의 덕트와 대차를 원상태
로 합니다 .
커버의 탈착
Step 2
이 3개의 커버를 탈착한다
<장비 정면>
<장비 배면>
필터의 분리
시스템 컨트롤러
서보 컨트롤러
Step 4
윗 부분을 앞쪽으로 슬라이드
필터
윗 부분을 뒤로 슬라이드
필터부 고정나사
필터부 고정나사
필터
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3
5.4.2 에어 / 미스트 필터 및 컵의 청소
에어 컴프레서내의 오일 , 물, 불순물 등이 장비 안으로 유입되지 않도록, 장비의 원 에어 접속부에는 에어
필터 및 미스트 필터가 사용되고 있습니다. 이들 필터의 점검•청소 및 필터용 미디어( 엘리먼트 필터 ) 의
교환방법을 다음과 같이 설명합니다.
1
장비의 원 에어 커플러를 분리합니다 .
작업을 안전하게 하기 위해서 , 원 에어 커플러를
분리해 주십시오 .
c
주의
에어 커플러를 분리할 때에는 큰 배기음이 발생하므로 , 주의해
주십시오 . 또한 , 오일 , 물 , 불순물 등이 튀지 않도록
주의해 주십시오 .
2
컵 안을 체크합니다 .
컵 안에 오일 또는 물이 들어 있는지 육안으로
확인해 주십시오 . 더러워져 있을 경우는 , 다음의
순서에 따라서 청소해 주십시오 .
참고
컵 하단의 드레인 콕은, 오토드레인 타입입니다 . 컵 안에
오일이나 물이 차면 자동적으로 배출되므로 , 호스 등을
연결해 놓을 것을 권장합니다.
3
컵을 분리합니다 .
컵의 버튼을 누르면서 우측 그림의 화살표 방향으
로 돌려서 밑으로 뻬 주십시오 . 분리한 컵은 이중
구조로 되어 있습니다 . 안쪽의 투명 컵을 청소해
주십시오 .
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4
컵 안의 더러움을 청소합니다 .
1. 컵을 가볍게 물세척합니다 .
2. 물을 섞은 중성세제로 다시 안을 씻어냅니다 .
3. 에어 블로우 한 후 , 헝겊 등으로 수분을 닦습
니다 .
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5
필터용 미디어의 상태를 확인합니다 .
필터용 미디어를 돌려서 분리하고 , 더러움이나
막힘 등이 없는지 확인합니다 . 더러워져 있을
경우는 , 소모품 리스트에 있는 새로운 미디어로
교환해 주십시오 .
6
필터용 미디어와 컵을 장착합니다 .
분리했을 때와 반대 순서로 , 필터용 미디어와
컵을 장착해 주십시오 .
7
에어 커플러를 장착합니다 .
에어 커플러를 접속해서 , 에어가 새지 않는지
확인해 주십시오 .
컵의 분리
Step 3
필터컵 (내부)
원 에어 접속부
에어필터 오일 미스트 필터
버튼
드레인 콕 (통상은 호스접속)
필터용 미디어의 분리와 상태확인
Step 5
오일 미스트 필터용 미디어
에어 필터용 미디어
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3
6. 2 년
여기에서는 2 년을 기준으로 실시하는 유지보수 작업에 대해서 설명합니다 .
6.1 RS 헤 드유닛
6.1.1 시저스 기어의 청소와 급유
RS 헤드에 있는 로터리의 회전축 (N 축 ) 과 각 헤드의 회전축 (R 축 ) 의 기어부분의 청소 및 급유에 대해서
설명합니다 .
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
2
시저스 기어를 청소합니다 .
시저스 기어 (R 축 ) 을 손으로 돌리면서 , 클린룸
용 와이퍼 등으로 2 개의 기어 ( 시저스 기어와
앞쪽 기어 ) 의 더러움을 닦아 주십시오 .
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3
구리스를 도포합니다 .
1. 보호장갑을 낀 손이나 와이퍼에 지정 구리스
(LG2) 를 묻혀서 N 축과 R 축의 시저스 기어
에 구리스를 도포합니다 .
2. R 축 기어를 손으로 돌려서 구리스를 기어
전체에 스며들게 합니다 .
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
스며나온 여분의 구리스를 와이퍼로 닦아 주십시
오.
시저스 기어를 청소한다
Step 2
시저스 기어 (N축)
시저스 기어 (R축)
와이퍼 (클린룸 용)