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3-65 3 6 . 2 년 여 기 에서 는 2 년 을 기 준 으로 실 시 하 는 유 지보 수 작 업 에 대해 서 설 명 합니다 . 6 .1 R S 헤 드 유 닛 6 . 1 . 1 시저스 기어의 청소 와 급유 RS 헤 드 에 있 는 로 터 리 의 회 전 축 (N 축 ) 과 각 헤 드 의 회 전 축 (R 축 ) 의 기 어 부분 의 청 소 및 급 유 에 대 해 서 설명합 니다 . 1 작 업 준비를…
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3
5.4.2 에어 / 미스트 필터 및 컵의 청소
에어 컴프레서내의 오일 , 물, 불순물 등이 장비 안으로 유입되지 않도록, 장비의 원 에어 접속부에는 에어
필터 및 미스트 필터가 사용되고 있습니다. 이들 필터의 점검•청소 및 필터용 미디어( 엘리먼트 필터 ) 의
교환방법을 다음과 같이 설명합니다.
1
장비의 원 에어 커플러를 분리합니다 .
작업을 안전하게 하기 위해서 , 원 에어 커플러를
분리해 주십시오 .
c
주의
에어 커플러를 분리할 때에는 큰 배기음이 발생하므로 , 주의해
주십시오 . 또한 , 오일 , 물 , 불순물 등이 튀지 않도록
주의해 주십시오 .
2
컵 안을 체크합니다 .
컵 안에 오일 또는 물이 들어 있는지 육안으로
확인해 주십시오 . 더러워져 있을 경우는 , 다음의
순서에 따라서 청소해 주십시오 .
참고
컵 하단의 드레인 콕은, 오토드레인 타입입니다 . 컵 안에
오일이나 물이 차면 자동적으로 배출되므로 , 호스 등을
연결해 놓을 것을 권장합니다.
3
컵을 분리합니다 .
컵의 버튼을 누르면서 우측 그림의 화살표 방향으
로 돌려서 밑으로 뻬 주십시오 . 분리한 컵은 이중
구조로 되어 있습니다 . 안쪽의 투명 컵을 청소해
주십시오 .
57386 -N9- 00
4
컵 안의 더러움을 청소합니다 .
1. 컵을 가볍게 물세척합니다 .
2. 물을 섞은 중성세제로 다시 안을 씻어냅니다 .
3. 에어 블로우 한 후 , 헝겊 등으로 수분을 닦습
니다 .
57387-N9-00
5
필터용 미디어의 상태를 확인합니다 .
필터용 미디어를 돌려서 분리하고 , 더러움이나
막힘 등이 없는지 확인합니다 . 더러워져 있을
경우는 , 소모품 리스트에 있는 새로운 미디어로
교환해 주십시오 .
6
필터용 미디어와 컵을 장착합니다 .
분리했을 때와 반대 순서로 , 필터용 미디어와
컵을 장착해 주십시오 .
7
에어 커플러를 장착합니다 .
에어 커플러를 접속해서 , 에어가 새지 않는지
확인해 주십시오 .
컵의 분리
Step 3
필터컵 (내부)
원 에어 접속부
에어필터 오일 미스트 필터
버튼
드레인 콕 (통상은 호스접속)
필터용 미디어의 분리와 상태확인
Step 5
오일 미스트 필터용 미디어
에어 필터용 미디어
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3
6. 2 년
여기에서는 2 년을 기준으로 실시하는 유지보수 작업에 대해서 설명합니다 .
6.1 RS 헤 드유닛
6.1.1 시저스 기어의 청소와 급유
RS 헤드에 있는 로터리의 회전축 (N 축 ) 과 각 헤드의 회전축 (R 축 ) 의 기어부분의 청소 및 급유에 대해서
설명합니다 .
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
2
시저스 기어를 청소합니다 .
시저스 기어 (R 축 ) 을 손으로 돌리면서 , 클린룸
용 와이퍼 등으로 2 개의 기어 ( 시저스 기어와
앞쪽 기어 ) 의 더러움을 닦아 주십시오 .
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3
구리스를 도포합니다 .
1. 보호장갑을 낀 손이나 와이퍼에 지정 구리스
(LG2) 를 묻혀서 N 축과 R 축의 시저스 기어
에 구리스를 도포합니다 .
2. R 축 기어를 손으로 돌려서 구리스를 기어
전체에 스며들게 합니다 .
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
스며나온 여분의 구리스를 와이퍼로 닦아 주십시
오.
시저스 기어를 청소한다
Step 2
시저스 기어 (N축)
시저스 기어 (R축)
와이퍼 (클린룸 용)
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3
6.1.2 노즐샤프트상부의청소와급유
다음과 같이 RS 헤드의 노즐 샤프트 상부의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다.
샤프트 상부의 급유에는 전용 오일(KMB-M3855-00X) 가 필요합니다 .
1
작업준비를합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2. 노즐스테이션을겸비하고있을경우는 ,모든노즐을노즐스테이션에수납합니다 .
e
3. 비상정지버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
4. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
5. 작업하기수월한위치에헤드유닛을이동시킵니다 .
n
요점
노즐 스테이션을 겸비하고 있지 않을 경우는 , 전술의「RS 헤드 / 노즐 샤프트의 하강방법」을 참조해서 반드시 Z 축을 손으로 내린
후에 노즐을 빼 주십시오 .
2
샤프트상부를청소합니다 .
1. 해당헤드의노즐샤프트스프링을손으로
눌러서밑으로내립니다 .
2. 면봉으로노즐샤프트상부의더러움을닦아
주십시오 .
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3
오일을도포합니다 .
지정오일 ( 샤프트상부용오일 ) 을면봉에적셔서 ,
샤프트상부의약10mm범위에얇게도포해
주십시오 .
n
요점
해당 헤드의 스프링이 내리기 힘든 위치에 있을 경우에는 ,
전술의「RS 헤드 / 노즐 샤프트의 하강방법」을 참조해서
로터리를 돌려 주십시오 . 또한 , R 축 기어를 손으로 돌려서
로터리 전체를 회전시키는 방법도 있습니다 .
4
다른샤프트도청소하고급유합니다 .
다른샤프트도상기와같은요령 (Step2~3) 으로
청소하고급유해주십시오 .
노즐 샤프트 상부의 청소와 급유
Step2-3
R축 기어
면봉
손가락으로 스프링을 눌러서 내린다
노즐 샤프트
약10mm