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3-66 3 6 . 1 .2 노즐샤프 트상 부 의청소와급 유 다음 과 같이 RS 헤 드 의 노 즐 샤 프트 상 부 의 청 소 와 급유 방 법 에 대 해 서 설 명 합 니 다 . 샤 프트 상 부 의 급 유 에 는 전 용 오 일 (KMB-M 3 8 5 5- 0 0 X) 가 필 요 합 니 다 . 1 작 업준비를합 니다 . 1 . 손목시 계 ,자기ID 카드등 ,자 력 에영향을…

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6. 2 년
여기에서는 2 년을 기준으로 실시하는 유지보수 작업에 대해서 설명합니다 .
6.1 RS 헤 드유닛
6.1.1 시저스 기어의 청소와 급유
RS 헤드에 있는 로터리의 회전축 (N 축 ) 과 각 헤드의 회전축 (R 축 ) 의 기어부분의 청소 및 급유에 대해서
설명합니다 .
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
2
시저스 기어를 청소합니다 .
시저스 기어 (R 축 ) 을 손으로 돌리면서 , 클린룸
용 와이퍼 등으로 2 개의 기어 ( 시저스 기어와
앞쪽 기어 ) 의 더러움을 닦아 주십시오 .
57390-N9-00
3
구리스를 도포합니다 .
1. 보호장갑을 낀 손이나 와이퍼에 지정 구리스
(LG2) 를 묻혀서 N 축과 R 축의 시저스 기어
에 구리스를 도포합니다 .
2. R 축 기어를 손으로 돌려서 구리스를 기어
전체에 스며들게 합니다 .
4
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
스며나온 여분의 구리스를 와이퍼로 닦아 주십시
오.
시저스 기어를 청소한다
Step 2
시저스 기어 (N축)
시저스 기어 (R축)
와이퍼 (클린룸 용)
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3
6.1.2 노즐샤프트상부의청소와급유
다음과 같이 RS 헤드의 노즐 샤프트 상부의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다.
샤프트 상부의 급유에는 전용 오일(KMB-M3855-00X) 가 필요합니다 .
1
작업준비를합니다 .
1. 손목시계 ,자기ID 카드등 ,자력에영향을받는물건은전부빼둡니다 .
2. 노즐스테이션을겸비하고있을경우는 ,모든노즐을노즐스테이션에수납합니다 .
e
3. 비상정지버튼을눌러서장비를비상정지상태로합니다 .
4. 대차클램프스위치로대차를내려서탈착합니다 .
5. 작업하기수월한위치에헤드유닛을이동시킵니다 .
n
요점
노즐 스테이션을 겸비하고 있지 않을 경우는 , 전술의「RS 헤드 / 노즐 샤프트의 하강방법」을 참조해서 반드시 Z 축을 손으로 내린
후에 노즐을 빼 주십시오 .
2
샤프트상부를청소합니다 .
1. 해당헤드의노즐샤프트스프링을손으로
눌러서밑으로내립니다 .
2. 면봉으로노즐샤프트상부의더러움을닦아
주십시오 .
57391-N9- 0 0
3
오일을도포합니다 .
지정오일 ( 샤프트상부용오일 ) 을면봉에적셔서 ,
샤프트상부의약10mm범위에얇게도포해
주십시오 .
n
요점
해당 헤드의 스프링이 내리기 힘든 위치에 있을 경우에는 ,
전술의「RS 헤드 / 노즐 샤프트의 하강방법」을 참조해서
로터리를 돌려 주십시오 . 또한 , R 축 기어를 손으로 돌려서
로터리 전체를 회전시키는 방법도 있습니다 .
4
다른샤프트도청소하고급유합니다 .
다른샤프트도상기와같은요령 (Step2~3) 으로
청소하고급유해주십시오 .
노즐 샤프트 상부의 청소와 급유
Step2-3
R축 기어
면봉
손가락으로 스프링을 눌러서 내린다
노즐 샤프트
약10mm
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3
6.1.3 진공라인 패킹 ASSY 의 교환
RS 헤드의 진공라인에는 패킹을 사용하고 있는 부위가 있으며 , 보통 2 년에 한 번 교환이 필요합니다.
패킹 교환은 ASSY 단위로 실시합니다.
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니다 .
4. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
5. 장비의 전원을 OFF 합니다 .
2
Z 축 유닛을 분리합니다 .
1. Z 축 유닛의 커넥터를 분리합니다 .
2. 육각렌치 (2) 로 Z 축 유닛의 고정볼트를 빼
주십시오 .
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3
헤드 커버를 탈착합니다 .
십자 드라이버로 , 헤드 커버의 장착 나사를 빼고
커버를 탈착해 주십시오 .
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RS헤드 Z축 유닛의 분리
Step 2
커넥터
Z축 유닛
Z축 유닛 고정볼트
RS헤드 커버의 탈착
Step 3
헤드 커버
헤드커버
장착나사