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3-69 3 6 . 1 .4 블로우 밸브 의 교 환 RS 헤 드 의 에 어 블 로 우 라 인 의 블 로 우 밸 브 ( 로드 1 , 로드 2 블 로 우 밸 브 ) 는 , 2 년 을 기 준 으로 교 환 할 필 요 가 있습 니다 . 1 작 업 준비를 합니다 . 1 . 손목시계 , 자기 I D 카드 등 , 자력에 영 향 을 받는 물건 은 전부 빼 둡니다 . e 2. 비상정 지 버 튼을 눌러서 장 비…

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진공 센서를 분리합니다 .
1. 진공 라인의 호스를 뺍니다 .
2. 스패너 (7) 로 , 패킹 ASSY 에 연결되어 있는
진공 센서의 너트를 풀어서 분리해 주십시오 .
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패킹 ASSY 를 분리합니다 .
1. 육각렌치 (2.5) 로 패킹 ASSY 의 장착 볼트를
빼 주십시오 .
2. 패킹 ASSY 를 위쪽으로 당겨서 뺍니다 .
3. 와이퍼로 헤드쪽의 샤프트에 묻어 있는 오래된
구리스나 더러움을 닦아 주십시오 .
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패킹 ASSY 를 교환합니다 .
1. 새로운 패킹 ASSY 를 샤프트에 끼웁니다 .
2. 육각렌치 (2.5) 로 패킹 ASSY 의 장착 볼트를
체결합니다 .
3. 진공라인 호스를 조인트에 끼웁니다 .
4. 진공센서를 패킹 ASSY 에 장착합니다 .
n
요점
패
킹 ASSY 의 내부에는 , 구리스 도포가 되어 있는 패킹이 들
어 있습니다 .
c
주의
진공센서를 장착할 때에는 , 패킹 ASSY 에 대해 센서의
장착부가 똑바로 되도록 장착합니다 . 비틀어진 상태에서
진공센서의 장착너트를 조이면 부품이 파손될 우려가 있습니다 .
7
헤드의 커버를 원상태로 장착합니다 .
8
Z 축 유닛을 원위치로 되돌립니다 .
1. Z 축 유닛을 원위치에 되돌리고 , 커넥터를 꽂
아 주십시오 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
진공센서의 분리
Step 4
스패너 (7)
조인트
장착 너트
진공라인 호스
진공 센서
패킹 ASSY
패킹 ASSY의 분리
Step 5
샤프트
패킹 ASSY 장착볼트
패킹 ASSY
조인트

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6.1.4 블로우 밸브의 교환
RS 헤드의 에어 블로우 라인의 블로우 밸브 ( 로드 1, 로드 2 블로우 밸브 ) 는 , 2 년을 기준으로 교환할 필요
가 있습니다 .
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을
받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 눌러서 장비를 비상정지 상태
로 합니다 .
3. 대차 클램프 스위치로 대차를 내려서 탈착합니
다.
4. 작업하기 수월한 위치에 헤드 유닛을 이동시키
고 , 사각건을 그 밑에 깔아 둡니다 .
5. 장비의 전원을 OFF 합니다 .
6. 장비의 공급 에어를 OFF 합니다 .
2
RS 헤드 상부의 커버를 탈착합니다 .
십자 드라이버로 , RS 헤드 상부의 커버를 고정하
고 있는 스크류를 분리하고 커버를 탈착해 주십시
오.
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3
밸브의 커넥터를 분리합니다 .
블로우 밸브의 커넥터를 분리해 주십시오 .
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밸브를 교환합니다 .
1. 정밀 십자드라이버로 , 밸브의 고정 스크류를
분리합니다 .
2. 새로운 밸브로 교환합니다 .
3. 커넥터를 원상태로 접속합니다 .
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n
요점
밸브의 뒤편에는 패킹이 들어 있사오니 , 낙하나 끼임에 주
의하면서 새로운 밸브로 교환해 주십시오 .
5
헤드 상부의 커버를 원상태로 합니다 .
1. 헤드 상부의 커버를 원상태로 장착합니다 .
2. 깔아둔 사각건을 정리하고 , 안전커버를 닫습
니다 .
커버의 탈착
Step 2
커버 고정 스크류
밸브 커넥터의 분리
Step 3
커넥터
로드2 블로우 밸브 로드1 블로우 밸브
블로우 밸브의 교환
Step 4
정밀 십자드라이버
밸브 뒤쪽에 있는 패킹 낙하주의
밸브 고정 스크류

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밸브의 동작을 확인합니다 .
1. 공급에어와 메인 전원을 투입하고 , 어플리케이
션을 기동합니다 .
2. [ 장치 ]-「헤드」탭 화면을 표시합니다 .
3. 밸브를 교환한 테이블을 선택합니다 .
4. 화면상에 로드 1 과 로드 2 의 [ 블로우 ] 버튼을
누릅니다 .
e
5. 비상정지 상태에서 , 장비의 안전 커버를 열고
헤드의 선단에서 실제로 블로우 에어가 나오는
지 확인해 주십시오 .
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RS헤드 블로우 확인
Step 6
테이블 선택
로드1 [블로우] 버튼 로드2 [블로우] 버튼